Semiceraṣafihan awọnKasẹti Semikondokito, Ohun elo to ṣe pataki fun aabo ati imudani ti o munadoko ti awọn wafers jakejado ilana iṣelọpọ semikondokito. Ti a ṣe pẹlu pipe to gaju, kasẹti yii ṣe idaniloju pe awọn wafers rẹ ti wa ni ipamọ lailewu ati gbigbe, ti n ṣetọju iduroṣinṣin wọn ni gbogbo ipele.
Superior Idaabobo ati YiyeAwọnKasẹti Semikondokitolati Semicera ti wa ni itumọ ti lati pese aabo ti o pọju si awọn wafers rẹ. Ti a ṣe lati awọn ohun elo ti o lagbara, awọn ohun elo sooro idoti, o daabobo awọn wafer rẹ lati ibajẹ ti o pọju ati ibajẹ, ti o jẹ ki o jẹ yiyan pipe fun awọn agbegbe mimọ. Apẹrẹ kasẹti naa dinku iran patikulu ati idaniloju pe awọn wafers wa ni aibikita ati aabo lakoko mimu ati gbigbe.
Imudara Apẹrẹ fun Išẹ Ti o dara julọSemicera káKasẹti Semikondokitoṣe ẹya apẹrẹ ti a ṣe ni oye ti o pese titete wafer deede, idinku eewu aiṣedeede ati ibajẹ ẹrọ. Awọn iho kasẹti naa ti wa ni aye pipe lati mu wafer kọọkan mu ni aabo, idilọwọ eyikeyi gbigbe ti o le ja si awọn ifa tabi awọn ailagbara miiran.
Versatility ati IbamuAwọnKasẹti Semikondokitojẹ wapọ ati ibaramu pẹlu ọpọlọpọ awọn titobi wafer, ti o jẹ ki o dara fun awọn ipele oriṣiriṣi ti iṣelọpọ semikondokito. Boya o n ṣiṣẹ pẹlu boṣewa tabi awọn iwọn wafer aṣa, kasẹti yii ṣe deede si awọn iwulo rẹ, nfunni ni irọrun ninu awọn ilana iṣelọpọ rẹ.
Imudani Imudani ati ṣiṣeApẹrẹ pẹlu olumulo ni lokan, awọnSemicera Semikondokito Kasẹtijẹ iwuwo fẹẹrẹ ati rọrun lati mu, gbigba fun gbigba ni iyara ati lilo daradara ati gbigbejade. Apẹrẹ ergonomic yii kii ṣe fifipamọ akoko nikan ṣugbọn tun dinku eewu aṣiṣe eniyan, ni idaniloju awọn iṣẹ ṣiṣe ti o dara laarin ohun elo rẹ.
Ipade Industry StandardsSemicera idaniloju wipe awọnKasẹti Semikondokitopàdé awọn ipele ile-iṣẹ ti o ga julọ fun didara ati igbẹkẹle. Kasẹti kọọkan n gba idanwo to muna lati ṣe iṣeduro pe o ṣiṣẹ nigbagbogbo labẹ awọn ipo ibeere ti iṣelọpọ semikondokito. Iyasọtọ yii si didara ni idaniloju pe awọn wafers rẹ nigbagbogbo ni aabo, mimu awọn ipele giga ti o nilo ninu ile-iṣẹ naa.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
