Semiceraṣafihan awọn oniwe-giga-didaraNipa Epitaxyawọn iṣẹ, ti a ṣe lati pade awọn iṣedede deede ti ile-iṣẹ semikondokito oni. Awọn fẹlẹfẹlẹ ohun alumọni Epitaxial jẹ pataki fun iṣẹ ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ itanna, ati awọn solusan Si Epitaxy wa rii daju pe awọn paati rẹ ṣaṣeyọri iṣẹ ṣiṣe to dara julọ.
Konge-Grown Silicon Layers Semiceraloye pe ipilẹ awọn ẹrọ ti o ga julọ wa ni didara awọn ohun elo ti a lo. TiwaNipa EpitaxyIlana ti ni iṣakoso ni oye lati gbejade awọn fẹlẹfẹlẹ ohun alumọni pẹlu iṣọkan alailẹgbẹ ati iduroṣinṣin gara. Awọn ipele wọnyi jẹ pataki fun awọn ohun elo ti o wa lati microelectronics si awọn ẹrọ agbara ilọsiwaju, nibiti aitasera ati igbẹkẹle jẹ pataki julọ.
Iṣapeye fun Iṣe ẹrọAwọnNipa EpitaxyAwọn iṣẹ ti a funni nipasẹ Semicera jẹ ti a ṣe lati jẹki awọn ohun-ini itanna ti awọn ẹrọ rẹ. Nipa dagba awọn fẹlẹfẹlẹ ohun alumọni mimọ-giga pẹlu awọn iwuwo abawọn kekere, a rii daju pe awọn paati rẹ ṣe ni ohun ti o dara julọ, pẹlu ilọsiwaju gbigbe ti ngbe ati idinku resistivity itanna. Imudara yii jẹ pataki fun iyọrisi iyara-giga ati awọn abuda ṣiṣe-giga ti o beere nipasẹ imọ-ẹrọ ode oni.
Versatility ni Awọn ohun elo SemicerasNipa EpitaxyO dara fun awọn ohun elo lọpọlọpọ, pẹlu iṣelọpọ awọn transistors CMOS, MOSFET agbara, ati awọn transistors junction bipolar. Ilana iyipada wa ngbanilaaye fun isọdi ti o da lori awọn ibeere pataki ti iṣẹ akanṣe rẹ, boya o nilo awọn fẹlẹfẹlẹ tinrin fun awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga tabi awọn ipele ti o nipọn fun awọn ẹrọ agbara.
Didara ohun elo ti o ga julọDidara wa ni ọkan ti ohun gbogbo ti a ṣe ni Semicera. TiwaNipa Epitaxyilana nlo ohun elo-ti-ti-aworan ati awọn ilana lati rii daju pe Layer ohun alumọni kọọkan pade awọn iṣedede ti o ga julọ ti mimọ ati iduroṣinṣin igbekalẹ. Ifarabalẹ yii si alaye dinku iṣẹlẹ ti awọn abawọn ti o le ni ipa lori iṣẹ ẹrọ, ti o mu abajade igbẹkẹle diẹ sii ati awọn paati pipẹ to gun.
Ifaramo si Innovation Semicerati pinnu lati duro ni iwaju ti imọ-ẹrọ semikondokito. TiwaNipa Epitaxyawọn iṣẹ ṣe afihan ifaramo yii, ti o ṣafikun awọn ilọsiwaju tuntun ni awọn ilana idagbasoke epitaxial. A ṣe atunṣe awọn ilana wa nigbagbogbo lati fi awọn fẹlẹfẹlẹ ohun alumọni ti o pade awọn iwulo idagbasoke ti ile-iṣẹ naa, ni idaniloju pe awọn ọja rẹ wa ifigagbaga ni ọja naa.
Awọn ojutu ti a ṣe deede fun awọn aini RẹNi oye pe gbogbo iṣẹ akanṣe jẹ alailẹgbẹ,Semiceranfun adaniNipa Epitaxysolusan lati baramu rẹ kan pato aini. Boya o nilo awọn profaili doping pato, sisanra Layer, tabi awọn ipari dada, ẹgbẹ wa ṣiṣẹ ni pẹkipẹki pẹlu rẹ lati fi ọja kan ti o ni ibamu pẹlu awọn pato pato rẹ.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
