Sobusitireti Si nipasẹ Semicera jẹ paati pataki ni iṣelọpọ ti awọn ẹrọ semikondokito iṣẹ ṣiṣe giga. Ti a ṣe lati inu ohun alumọni mimọ-giga (Si), sobusitireti yii nfunni ni isokan alailẹgbẹ, iduroṣinṣin, ati adaṣe to dara julọ, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo ilọsiwaju ni ile-iṣẹ semikondokito. Boya ti a lo ni Si Wafer, Sobusitireti SiC, SOI Wafer, tabi iṣelọpọ Sobusitireti SiN, Semicera Si Substrate n funni ni didara deede ati iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ lati pade awọn ibeere ti ndagba ti ẹrọ itanna ode oni ati imọ-jinlẹ ohun elo.
Iṣe ti ko ni ibamu pẹlu Iwa mimọ giga ati Itọkasi
Semicera's Si Substrate jẹ iṣelọpọ ni lilo awọn ilana ilọsiwaju ti o rii daju mimọ giga ati iṣakoso iwọn wiwọn. Sobusitireti n ṣiṣẹ bi ipilẹ fun iṣelọpọ ti ọpọlọpọ awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga, pẹlu Epi-Wafers ati AlN Wafers. Itọkasi ati isokan ti Sobusitireti Si jẹ ki o jẹ yiyan ti o dara julọ fun ṣiṣẹda awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial fiimu tinrin ati awọn paati pataki miiran ti a lo ninu iṣelọpọ ti awọn semikondokito iran atẹle. Boya o n ṣiṣẹ pẹlu Gallium Oxide (Ga2O3) tabi awọn ohun elo ilọsiwaju miiran, Semicera's Si Substrate ṣe idaniloju awọn ipele ti o ga julọ ti igbẹkẹle ati iṣẹ.
Awọn ohun elo ni iṣelọpọ Semikondokito
Ninu ile-iṣẹ semikondokito, Si sobusitireti lati Semicera ni lilo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu Si Wafer ati iṣelọpọ Sobusitireti SiC, nibiti o ti pese ipilẹ iduroṣinṣin, ipilẹ igbẹkẹle fun ifisilẹ ti awọn ipele ti nṣiṣe lọwọ. Sobusitireti ṣe ipa to ṣe pataki ni iṣelọpọ SOI Wafers (Silicon On Insulator), eyiti o ṣe pataki fun microelectronics to ti ni ilọsiwaju ati awọn iyika iṣọpọ. Pẹlupẹlu, Epi-Wafers (epitaxial wafers) ti a ṣe lori Si Substrates jẹ apakan ninu iṣelọpọ awọn ẹrọ semikondokito iṣẹ giga gẹgẹbi awọn transistors agbara, awọn diodes, ati awọn iyika iṣọpọ.
Sobusitireti Si tun ṣe atilẹyin iṣelọpọ awọn ẹrọ nipa lilo Gallium Oxide (Ga2O3), ohun elo bandgap jakejado ti o ni ileri ti a lo fun awọn ohun elo agbara giga ni ẹrọ itanna agbara. Ni afikun, ibaramu ti Substrate Semicera's Si pẹlu AlN Wafers ati awọn sobusitireti ilọsiwaju miiran ni idaniloju pe o le pade awọn ibeere oniruuru ti awọn ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga, ti o jẹ ki o jẹ ojutu pipe fun iṣelọpọ ti awọn ẹrọ gige-eti ni awọn ibaraẹnisọrọ, adaṣe, ati awọn apa ile-iṣẹ .
Gbẹkẹle ati Didara Didara fun Awọn ohun elo Imọ-ẹrọ giga
Sobusitireti Si nipasẹ Semicera ti ni adaṣe ni pẹkipẹki lati pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito. Iduroṣinṣin igbekalẹ ailẹgbẹ rẹ ati awọn ohun-ini dada ti o ni agbara giga jẹ ki o jẹ ohun elo pipe fun lilo ninu awọn eto kasẹti fun gbigbe wafer, ati fun ṣiṣẹda awọn fẹlẹfẹlẹ pipe-giga ni awọn ẹrọ semikondokito. Agbara sobusitireti lati ṣetọju didara ibamu labẹ awọn ipo ilana ti o yatọ ṣe idaniloju awọn abawọn to kere, imudara ikore ati iṣẹ ti ọja ikẹhin.
Pẹlu iṣesi igbona ti o ga julọ, agbara ẹrọ, ati mimọ giga, Semicera's Si Substrate jẹ ohun elo yiyan fun awọn aṣelọpọ n wa lati ṣaṣeyọri awọn iṣedede giga ti konge, igbẹkẹle, ati iṣẹ ṣiṣe ni iṣelọpọ semikondokito.
Yan Semicera's Si Substrate fun Iwa-mimọ giga, Awọn solusan Iṣe-giga
Fun awọn aṣelọpọ ni ile-iṣẹ semikondokito, Si Substrate lati Semicera nfunni ni agbara, ojutu didara giga fun ọpọlọpọ awọn ohun elo, lati iṣelọpọ Si Wafer si ẹda Epi-Wafers ati SOI Wafers. Pẹlu mimọ ti ko ni ibamu, konge, ati igbẹkẹle, sobusitireti yii ngbanilaaye iṣelọpọ ti awọn ẹrọ semikondokito gige-eti, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe igba pipẹ ati ṣiṣe to dara julọ. Yan Semicera fun awọn aini sobusitireti Si rẹ, ati gbekele ọja ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn ibeere ti awọn imọ-ẹrọ ọla.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
