Apejuwe
A ṣetọju awọn ifarada isunmọ pupọ nigba lilo awọnSiC ti a bo, Lilo ẹrọ ti o ga julọ lati rii daju profaili susceptor aṣọ. A tun gbe awọn ohun elo pẹlu bojumu itanna resistance-ini fun lilo ninu inductively kikan awọn ọna šiše. Gbogbo awọn paati ti o pari wa pẹlu mimọ ati ijẹrisi ibamu onisẹpo.
Ile-iṣẹ wa peseSiC ti a boawọn iṣẹ ilana nipasẹ ọna CVD lori oju ti graphite, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran, ki awọn gaasi pataki ti o ni erogba ati ohun alumọni fesi ni iwọn otutu giga lati gba awọn ohun elo SiC mimọ giga, awọn ohun elo ti a fi silẹ lori oju awọn ohun elo ti a bo, ti o ṣẹda Layer aabo SIC. SIC ti a ṣe ni ifaramọ si ipilẹ graphite, fifun ipilẹ graphite awọn ohun-ini pataki, nitorinaa ṣiṣe dada ti iwapọ graphite, Porosity-free, resistance otutu otutu, ipata ipata ati resistance ifoyina.
CVD ilana gbà lalailopinpin giga ti nw ati ki o tumq si iwuwo tiSiC ti a bopẹlu ko si porosity. Kini diẹ sii, bi ohun alumọni carbide jẹ lile pupọ, o le ṣe didan si dada-bi digi kan.CVD ohun alumọni carbide (SiC) bojiṣẹ ọpọlọpọ awọn anfani pẹlu dada mimọ-giga giga ati agbara yiya lalailopinpin. Bii awọn ọja ti a bo ni iṣẹ ṣiṣe nla ni igbale giga ati ipo iwọn otutu giga, wọn jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo ni ile-iṣẹ semikondokito ati agbegbe mimọ-pupọ miiran. A tun pese awọn ọja graphite pyrolytic (PG).
Akọkọ Awọn ẹya ara ẹrọ
1. Idaabobo ifoyina otutu otutu:
resistance ifoyina tun dara pupọ nigbati iwọn otutu ba ga to 1600 C.
2. Iwa mimọ to gaju: ti a ṣe nipasẹ ifasilẹ ọru kemikali labẹ ipo chlorination otutu otutu.
3. Ogbara resistance: ga líle, iwapọ dada, itanran patikulu.
4. Ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
Awọn pato akọkọ ti CVD-SIC Coatings
| SiC-CVD | ||
| iwuwo | (g/cc) | 3.21 |
| Agbara Flexural | (Mpa) | 470 |
| Gbona imugboroosi | (10-6/K) | 4 |
| Gbona elekitiriki | (W/mK) | 300 |
Ohun elo
CVD ohun alumọni carbide ti a bo ti a ti lo ni semikondokito ile ise tẹlẹ, gẹgẹ bi awọn MOCVD atẹ, RTP ati oxide etching iyẹwu niwon silikoni nitride ni o ni nla gbona mọnamọna resistance ati ki o le withstand ga agbara pilasima.
-Silicon carbide jẹ lilo pupọ ni semikondokito ati bo.
Ohun elo
Agbara Ipese:
10000 Nkan / Awọn nkan fun oṣu kan
Iṣakojọpọ & Ifijiṣẹ:
Iṣakojọpọ: Standard & Iṣakojọpọ Alagbara
Poly apo + apoti + paali + pallet
Ibudo:
Ningbo / Shenzhen / Shanghai
Akoko asiwaju:
| Opoiye(Eya) | 1 – 1000 | >1000 |
| Est. Akoko (ọjọ) | 30 | Lati ṣe idunadura |
