Apejuwe
Semicorex's SiC Wafer Susceptors fun MOCVD (Metal-Organic Kemikali Vapor Deposition) jẹ iṣẹ-ṣiṣe lati pade awọn ibeere deede ti awọn ilana ifisilẹ epitaxial. Lilo Silicon Carbide (SiC) ti o ni agbara giga, awọn alailagbara wọnyi nfunni ni agbara ailopin ati iṣẹ ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ, ni idaniloju idagbasoke deede ati daradara ti awọn ohun elo semikondokito.
Awọn ẹya pataki:
1. Superior elo PropertiesTi a ṣe lati SiC-giga, awọn alailagbara wafer ṣe afihan adaṣe igbona alailẹgbẹ ati resistance kemikali. Awọn ohun-ini wọnyi jẹ ki wọn koju awọn ipo to gaju ti awọn ilana MOCVD, pẹlu awọn iwọn otutu giga ati awọn gaasi ipata, ni idaniloju igbesi aye gigun ati iṣẹ igbẹkẹle.
2. Itọkasi ni Ikọlẹ EpitaxialImọ-ẹrọ deede ti SiC Wafer Susceptors wa ṣe idaniloju pinpin iwọn otutu aṣọ ile kọja dada wafer, irọrun ni ibamu ati idagbasoke ipele epitaxial didara ga. Itọkasi yii ṣe pataki fun iṣelọpọ semikondokito pẹlu awọn ohun-ini itanna to dara julọ.
3. Imudara ImudaraOhun elo SiC ti o lagbara n pese resistance to dara julọ lati wọ ati ibajẹ, paapaa labẹ ifihan lemọlemọfún si awọn agbegbe ilana lile. Itọju yii dinku igbohunsafẹfẹ ti awọn rirọpo susceptor, idinku akoko idinku ati awọn idiyele iṣẹ.
Awọn ohun elo:
Awọn Susceptors SiC Wafer Semicorex fun MOCVD jẹ apere fun:
• Idagba Epitaxial ti awọn ohun elo semikondokito
• Awọn ilana MOCVD ti o ga julọ
• Gbóògì ti GaN, AlN, ati awọn miiran yellow semikondokito
• Awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito ti ilọsiwaju
Awọn pato pataki ti CVD-SIC Awọn aso:
Awọn anfani:
•Ga konge: Ṣe idaniloju isodipupo ati idagba epitaxial ti o ga julọ.
•Gigun-pípẹ Performance: Iyatọ iyasọtọ dinku igbohunsafẹfẹ rirọpo.
• Iye-ṣiṣe: Dinku awọn idiyele iṣiṣẹ nipasẹ dinku idinku ati itọju.
•Iwapọ: Asefara lati fi ipele ti orisirisi ilana MOCVD awọn ibeere.
