Iwọn Idojukọ SiC Solid lati Semicera jẹ paati gige-eti ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn ibeere ti iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju. Ti a ṣe lati mimọ-gigaSilikoni Carbide (SiC), Yi oruka idojukọ jẹ apẹrẹ fun kan jakejado ibiti o ti ohun elo ninu awọn semikondokito ile ise, paapa niCVD SiC lakọkọ, pilasima etching, atiICPRIE (Inductively Pilasima Reactive Ion Etching). Ti a mọ fun idiwọ yiya iyasọtọ rẹ, iduroṣinṣin igbona giga, ati mimọ, o ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe pipẹ ni awọn agbegbe wahala-giga.
Ni semikondokitowaferSisẹ, Awọn oruka Idojukọ SiC Solid jẹ pataki ni mimu etching kongẹ lakoko etching gbigbẹ ati awọn ohun elo etching wafer. Iwọn idojukọ SiC ṣe iranlọwọ ni idojukọ pilasima lakoko awọn ilana bii awọn iṣẹ ẹrọ etching pilasima, jẹ ki o ṣe pataki fun etching ti awọn wafers ohun alumọni. Awọn ohun elo SiC ti o ni idaniloju nfunni ni idiwọ ti ko ni afiwe si ogbara, ni idaniloju igba pipẹ ti ẹrọ rẹ ati idinku akoko isinmi, eyi ti o ṣe pataki fun mimu iṣelọpọ giga ni iṣelọpọ semikondokito.
Oruka Idojukọ SiC Solid lati Semicera jẹ iṣelọpọ lati koju awọn iwọn otutu to gaju ati awọn kemikali ibinu ti o wọpọ nigbagbogbo ni ile-iṣẹ semikondokito. O jẹ apẹrẹ pataki fun lilo ninu awọn iṣẹ-ṣiṣe to gaju gẹgẹbiCVD SiC aṣọ, nibiti mimọ ati agbara jẹ pataki julọ. Pẹlu resistance ti o dara julọ si mọnamọna gbona, ọja yii ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe deede ati iduroṣinṣin labẹ awọn ipo lile julọ, pẹlu ifihan si awọn iwọn otutu giga lakokowaferetching lakọkọ.
Ninu awọn ohun elo semikondokito, nibiti konge ati igbẹkẹle jẹ bọtini, Iwọn Idojukọ Solid SiC ṣe ipa pataki ni imudara ṣiṣe gbogbogbo ti awọn ilana etching. Agbara rẹ, apẹrẹ iṣẹ ṣiṣe giga jẹ ki o jẹ yiyan pipe fun awọn ile-iṣẹ ti o nilo awọn paati mimọ-giga ti o ṣe labẹ awọn ipo to gaju. Boya lo ninuCVD SiC orukaAwọn ohun elo tabi gẹgẹ bi apakan ti ilana etching pilasima, Semicera's Solid SiC Focus Oruka ṣe iranlọwọ lati mu iṣẹ ṣiṣe ohun elo rẹ pọ si, nfunni ni gigun ati igbẹkẹle ibeere awọn ilana iṣelọpọ rẹ.
Awọn ẹya pataki:
• Superior yiya resistance ati ki o ga gbona iduroṣinṣin
• Awọn ohun elo SiC ti o ni mimọ-giga fun igbesi aye gigun
• Apẹrẹ fun pilasima etching, ICP RIE, ati awọn ohun elo etching gbẹ
• Pipe fun etching wafer, paapaa ni awọn ilana CVD SiC
• Išẹ igbẹkẹle ni awọn agbegbe ti o pọju ati awọn iwọn otutu giga
• Ṣe idaniloju konge ati ṣiṣe ni etching ti awọn wafers silikoni
Awọn ohun elo:
• Awọn ilana CVD SiC ni iṣelọpọ semikondokito
• Plasma etching ati ICP RIE awọn ọna šiše
• Gbẹ etching ati wafer etching lakọkọ
• Etching ati ifisilẹ ninu awọn ẹrọ etching pilasima
• Awọn ohun elo pipe fun awọn oruka wafer ati awọn oruka CVD SiC
Airi mofoloji ti CVD SiC dada
Mofoloji airi ti CVD SiC agbelebu-apakan
