Awọn SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddlejẹ apẹrẹ lati pade awọn ibeere ti iṣelọpọ semikondokito ode oni. Eyiwafer paddlenfunni ni agbara ẹrọ ti o dara julọ ati resistance igbona, eyiti o ṣe pataki fun mimu wafers ni awọn agbegbe iwọn otutu giga.
Apẹrẹ cantilever SiC ngbanilaaye gbigbe wafer deede, idinku eewu ibajẹ lakoko mimu. Iṣeduro igbona giga rẹ ṣe idaniloju pe wafer wa ni iduroṣinṣin paapaa labẹ awọn ipo to gaju, eyiti o ṣe pataki fun mimu iṣelọpọ iṣelọpọ ṣiṣẹ.
Ni afikun si awọn anfani igbekale rẹ, Semicera'sSiC Cantilever Wafer Paddletun pese awọn anfani ni iwuwo ati agbara. Itumọ iwuwo fẹẹrẹ jẹ ki o rọrun lati mu ati ṣepọ sinu awọn eto ti o wa tẹlẹ, lakoko ti ohun elo SiC ti o ga-giga n ṣe idaniloju agbara pipẹ labẹ awọn ipo ibeere.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
