SemiceraOhun alumọni Carbide seramiki asojẹ ibora aabo iṣẹ giga ti a ṣe ti ohun elo ohun elo silikoni carbide (SiC). Awọn ti a bo ti wa ni maa nile lori dada ti awọn sobusitireti nipasẹ CVD tabi PVD ilana pẹluohun alumọni carbide patikulu, n pese idena ipata kemikali ti o dara julọ ati iduroṣinṣin otutu giga. Nitorinaa, Coating Silicon Carbide Seramiki jẹ lilo pupọ ni awọn paati bọtini ti ohun elo iṣelọpọ semikondokito.
Ni iṣelọpọ semikondokito,SiC ti a bole koju awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti o to 1600 ° C, nitorinaa Silicon Carbide Ceramic Coating ti wa ni igbagbogbo lo bi Layer aabo fun ohun elo tabi awọn irinṣẹ lati yago fun ibajẹ ni iwọn otutu giga tabi awọn agbegbe ibajẹ.
Ni akoko kan naa,ohun alumọni carbide seramiki ti a bole koju ogbara ti acids, alkalis, oxides ati awọn miiran kemikali reagents, ati ki o ni ga ipata resistance si kan orisirisi ti kemikali oludoti. Nitorinaa, ọja yii dara fun ọpọlọpọ awọn agbegbe ibajẹ ni ile-iṣẹ semikondokito.
Pẹlupẹlu, ni akawe pẹlu awọn ohun elo seramiki miiran, SiC ni ifaramọ igbona ti o ga julọ ati pe o le ṣe imunadoko ooru. Ẹya ara ẹrọ yii pinnu pe ni awọn ilana semikondokito ti o nilo iṣakoso iwọn otutu kongẹ, ifaramọ igbona giga tiOhun alumọni Carbide seramiki asoṣe iranlọwọ lati pin ooru kaakiri, ṣe idiwọ igbona agbegbe, ati rii daju pe ẹrọ naa nṣiṣẹ ni iwọn otutu to dara julọ.
| Awọn ohun-ini ipilẹ ti ara ti CVD sic ti a bo | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Crystal Be | FCC β polycrystalline alakoso, nipataki (111) Oorun |
| iwuwo | 3.21 g/cm³ |
| Lile | 2500 Vickers lile (ẹru 500g) |
| Ọkà SiZe | 2 ~ 10μm |
| Kẹmika Mimọ | 99.99995% |
| Agbara Ooru | 640 · kg-1· K-1 |
| Sublimation otutu | 2700 ℃ |
| Agbara Flexural | 415 MPa RT 4-ojuami |
| Modulu ọdọ | 430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃ |
| Gbona Conductivity | 300W·m-1· K-1 |
| Imugboroosi Gbona (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
