Apejuwe
Semicera's SiC ti a bo graphite susceptors jẹ iṣẹ-ṣiṣe nipa lilo awọn sobusitireti graphite ti o ni agbara giga, eyiti a bo ni pẹkipẹki pẹlu Silicon Carbide (SiC) nipasẹ awọn ilana Isọdi Vapor Kemikali (CVD). Apẹrẹ imotuntun yii ṣe idaniloju atako ailẹgbẹ si mọnamọna gbona ati ibajẹ kemikali, ni pataki ti o fa igbesi aye igbesi aye ti SiC susceptor graphite ti a bo ati iṣeduro iṣẹ igbẹkẹle jakejado ilana iṣelọpọ semikondokito.
Awọn ẹya pataki:
1. Superior Gbona ConductivitySusceptor lẹẹdi ti a bo SiC ṣe afihan adaṣe igbona ti o tayọ, eyiti o ṣe pataki fun itusilẹ ooru to munadoko lakoko iṣelọpọ semikondokito. Ẹya yii dinku awọn gradients igbona lori oju wafer, igbega pinpin iwọn otutu aṣọ ile pataki fun iyọrisi awọn ohun-ini semikondokito ti o fẹ.
2. Logan Kemikali ati Gbona mọnamọna ResistanceIboju SiC n pese aabo ti o lagbara lodi si ipata kemikali ati mọnamọna gbona, mimu iduroṣinṣin ti ifura lẹẹdi paapaa ni awọn agbegbe sisẹ lile. Imudara imudara yii dinku akoko idinku ati fa gigun igbesi aye, idasi si iṣelọpọ pọ si ati ṣiṣe idiyele ni awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito.
3. Isọdi fun Specific ainiAwọn ifura graphite ti a bo SiC wa ni a le ṣe deede lati pade awọn ibeere ati awọn ayanfẹ kan pato. A nfunni ni ọpọlọpọ awọn aṣayan isọdi, pẹlu awọn atunṣe iwọn ati awọn iyatọ ninu sisanra ti a bo, lati rii daju irọrun apẹrẹ ati iṣẹ iṣapeye fun awọn oriṣiriṣi awọn ohun elo ati awọn ilana ilana.
Awọn ohun elo:
Awọn ohun eloSemicera SiC ti a bo ni lilo ni ọpọlọpọ awọn ipele ti iṣelọpọ semikondokito, pẹlu:
1. -LED Chip Fabrication
2. -Polysilicon Production
3. -Semikondokito Crystal Growth
4. -Alumọni ati SiC Apọju
5. -Afẹfẹ Ooru ati Itankale (TO&D)
Awọn pato Imọ-ẹrọ:
