Semicera káSilikoni Carbide apọjujẹ iṣẹ-ṣiṣe lati pade awọn ibeere lile ti awọn ohun elo semikondokito ode oni. Nipa lilo awọn imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial ti ilọsiwaju, a rii daju pe Layer carbide silikoni kọọkan ṣe afihan didara kristali alailẹgbẹ, iṣọkan, ati iwuwo abawọn kekere. Awọn abuda wọnyi ṣe pataki fun idagbasoke ẹrọ itanna agbara iṣẹ ṣiṣe giga, nibiti ṣiṣe ati iṣakoso igbona jẹ pataki julọ.
AwọnSilikoni Carbide apọjuilana ni Semicera ti wa ni iṣapeye lati gbejade awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial pẹlu sisanra kongẹ ati iṣakoso doping, aridaju iṣẹ ṣiṣe deede kọja ọpọlọpọ awọn ẹrọ. Ipele ti konge yii jẹ pataki fun awọn ohun elo ni awọn ọkọ ina mọnamọna, awọn eto agbara isọdọtun, ati awọn ibaraẹnisọrọ igbohunsafẹfẹ giga, nibiti igbẹkẹle ati ṣiṣe ṣe pataki.
Jubẹlọ, Semicera káSilikoni Carbide apọjunfunni ni imudara imudara igbona ati foliteji didenukole giga, ṣiṣe ni yiyan ti o fẹ fun awọn ẹrọ ti o ṣiṣẹ labẹ awọn ipo to gaju. Awọn ohun-ini wọnyi ṣe alabapin si awọn igbesi aye ẹrọ gigun ati ilọsiwaju ṣiṣe eto gbogbogbo, pataki ni agbara giga ati awọn agbegbe iwọn otutu giga.
Semicera tun pese awọn aṣayan isọdi funSilikoni Carbide apọju, gbigba fun awọn solusan ti a ṣe deede ti o pade awọn ibeere ẹrọ kan pato. Boya fun iwadii tabi iṣelọpọ iwọn-nla, awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial wa ti ṣe apẹrẹ lati ṣe atilẹyin iran atẹle ti awọn imotuntun semikondokito, ti o mu ki idagbasoke awọn ẹrọ itanna ti o lagbara diẹ sii, daradara, ati igbẹkẹle.
Nipa sisọpọ imọ-ẹrọ gige-eti ati awọn ilana iṣakoso didara okun, Semicera ṣe idaniloju pe waSilikoni Carbide apọjuAwọn ọja ko pade nikan ṣugbọn kọja awọn ajohunše ile-iṣẹ. Ifaramo yii si didara julọ jẹ ki awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial wa ni ipilẹ ti o dara julọ fun awọn ohun elo semikondokito to ti ni ilọsiwaju, fifin ọna fun awọn aṣeyọri ninu ẹrọ itanna agbara ati optoelectronics.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
