Fiimu Silicon nipasẹ Semicera jẹ ohun elo ti o ga julọ, ohun elo ti konge ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito. Ti a ṣelọpọ lati ohun alumọni mimọ, ojutu fiimu tinrin yii nfunni ni iṣọkan ti o dara julọ, mimọ giga, ati itanna alailẹgbẹ ati awọn ohun-ini gbona. O jẹ apẹrẹ fun lilo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo semikondokito, pẹlu iṣelọpọ ti Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, ati Epi-Wafer. Semicera's Silicon Film ṣe idaniloju igbẹkẹle ati iṣẹ ṣiṣe deede, ṣiṣe ni ohun elo pataki fun microelectronics to ti ni ilọsiwaju.
Didara ti o ga julọ ati Iṣe fun iṣelọpọ Semikondokito
Fiimu Silicon Semicera ni a mọ fun agbara ẹrọ ti iyalẹnu rẹ, iduroṣinṣin igbona giga, ati awọn oṣuwọn abawọn kekere, gbogbo eyiti o ṣe pataki ni iṣelọpọ ti awọn semikondokito iṣẹ-giga. Boya a lo ninu iṣelọpọ awọn ohun elo Gallium Oxide (Ga2O3), AlN Wafer, tabi Epi-Wafers, fiimu naa n pese ipilẹ to lagbara fun fifin fiimu tinrin ati idagbasoke epitaxial. Ibamu rẹ pẹlu awọn sobusitireti semikondokito miiran bii SiC Substrate ati SOI Wafers ṣe idaniloju isọpọ ailopin sinu awọn ilana iṣelọpọ ti o wa, ṣe iranlọwọ lati ṣetọju awọn eso giga ati didara ọja ni ibamu.
Awọn ohun elo ni Semikondokito Industry
Ninu ile-iṣẹ semikondokito, Semicera's Silicon Film jẹ lilo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo, lati iṣelọpọ Si Wafer ati SOI Wafer si awọn lilo amọja diẹ sii bii SiN Substrate ati ẹda Epi-Wafer. Iwa mimọ ati pipe ti fiimu yii jẹ ki o ṣe pataki ni iṣelọpọ awọn paati ilọsiwaju ti a lo ninu ohun gbogbo lati awọn microprocessors ati awọn iyika iṣọpọ si awọn ẹrọ optoelectronic.
Fiimu Silikoni ṣe ipa to ṣe pataki ni awọn ilana semikondokito bii idagba epitaxial, isunmọ wafer, ati ifisilẹ fiimu tinrin. Awọn ohun-ini igbẹkẹle jẹ pataki paapaa fun awọn ile-iṣẹ ti o nilo awọn agbegbe iṣakoso ti o ga, gẹgẹbi awọn yara mimọ ni awọn ile-iṣẹ semikondokito. Ni afikun, Fiimu Silicon le ṣepọ sinu awọn eto kasẹti fun mimu wafer daradara ati gbigbe lakoko iṣelọpọ.
Igbẹkẹle igba pipẹ ati Iduroṣinṣin
Ọkan ninu awọn anfani bọtini ti lilo Semicera's Silicon Film jẹ igbẹkẹle igba pipẹ rẹ. Pẹlu agbara to dara julọ ati didara deede, fiimu yii n pese ojutu ti o gbẹkẹle fun awọn agbegbe iṣelọpọ iwọn didun giga. Boya o nlo ni awọn ẹrọ semikondokito giga-giga tabi awọn ohun elo itanna to ti ni ilọsiwaju, Semicera's Silicon Film ṣe idaniloju pe awọn aṣelọpọ le ṣaṣeyọri iṣẹ giga ati igbẹkẹle kọja ọpọlọpọ awọn ọja.
Kini idi ti o yan Fiimu Silicon Semicera?
Fiimu Silicon lati Semicera jẹ ohun elo pataki fun awọn ohun elo gige-eti ni ile-iṣẹ semikondokito. Awọn ohun-ini iṣẹ ṣiṣe giga rẹ, pẹlu iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, mimọ giga, ati agbara ẹrọ, jẹ ki o jẹ yiyan ti o dara julọ fun awọn aṣelọpọ n wa lati ṣaṣeyọri awọn ipele ti o ga julọ ni iṣelọpọ semikondokito. Lati Si Wafer ati SiC Substrate si iṣelọpọ awọn ẹrọ Gallium Oxide Ga2O3, fiimu yii n pese didara ti ko ni ibamu ati iṣẹ.
Pẹlu Semicera's Silicon Film, o le gbẹkẹle ọja kan ti o pade awọn iwulo ti iṣelọpọ semikondokito ode oni, pese ipilẹ ti o gbẹkẹle fun iran atẹle ti ẹrọ itanna.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
