ọja Akopọ
AwọnSilicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) Paddle and Wafer Carrierjẹ iṣẹ-ẹrọ lati pade awọn ibeere ibeere ti awọn ohun elo mimu igbona semikondokito. Ti a ṣe lati SiC mimọ-giga ati imudara nipasẹ ohun alumọni impregnation, ọja yii nfunni ni akojọpọ alailẹgbẹ ti iṣẹ iwọn otutu giga, adaṣe igbona ti o dara julọ, resistance ipata, ati agbara ẹrọ ti o tayọ.
Nipa sisọpọ imọ-jinlẹ ohun elo to ti ni ilọsiwaju pẹlu iṣelọpọ deede, ojutu yii ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ, igbẹkẹle, ati agbara fun awọn aṣelọpọ semikondokito.
Key Awọn ẹya ara ẹrọ
1.Iyatọ Ga-Ooru Resistance
Pẹlu aaye yo ti o kọja 2700 ° C, awọn ohun elo SiC jẹ iduroṣinṣin lainidi labẹ ooru to gaju. Silikoni impregnation siwaju mu imuduro igbona wọn pọ si, gbigba wọn laaye lati koju ifihan gigun si awọn iwọn otutu giga laisi irẹwẹsi igbekalẹ tabi ibajẹ iṣẹ.
2.Superior Gbona Conductivity
Imudani igbona ti o yatọ ti SiC ti a fi si ohun alumọni ṣe idaniloju pinpin ooru iṣọkan, idinku aapọn igbona lakoko awọn ipele sisẹ to ṣe pataki. Ohun-ini yii ṣe gigun igbesi aye ohun elo ati dinku akoko iṣelọpọ, jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun sisẹ igbona otutu-giga.
3.Oxidation ati Ipata Resistance
Layer ohun elo afẹfẹ ohun alumọni ti o lagbara ni awọn fọọmu nipa ti ara lori dada, pese atako to dayato si ifoyina ati ipata. Eyi ṣe idaniloju igbẹkẹle igba pipẹ ni awọn agbegbe iṣiṣẹ lile, aabo mejeeji ohun elo ati awọn paati agbegbe.
4.Agbara Darí giga ati Resistance Wọ
Sic-impregnated SiC ṣe ẹya agbara ifasilẹ ti o dara julọ ati resistance resistance, mimu iduroṣinṣin igbekalẹ rẹ labẹ fifuye giga, awọn ipo iwọn otutu giga. Eyi dinku eewu ti ibajẹ ti o ni ibatan wọ, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe deede lori awọn akoko lilo gigun.
Awọn pato
| Orukọ ọja | SC-RSiC-Si |
| Ohun elo | Silikoni Impregnation Silicon Carbide Compact (mimọ giga) |
| Awọn ohun elo | Semikondokito Heat Awọn ẹya ara ẹrọ, Semikondokito Manufacturing Equipment Awọn ẹya ara |
| Fọọmu ifijiṣẹ | Ara ti a mọ (Ara ti a sọ di mimọ) |
| Tiwqn | Mechanical Ini | Modulu ọdọ (GPa) | Titẹ Agbara (MPa) | ||
| Akopọ (iwọn%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Ìwọ̀n Ọ̀pọ̀ (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Ooru otutu °C | 1350 | Iye owo ti Poisson | 0.18 (RT) | ||
| Gbona Ohun ini | Gbona Conductivity (W/ (m· K)) | Specific Heat Agbara (kJ/ (kg·K)) | olùsọdipúpọ ti Gbona Imugboroosi (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700 ~ 1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Àkóónú àìmọ́ ((ppm) | |||||||||||||
| Eroja | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Iwọn akoonu | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Awọn ohun elo
▪Ṣiṣẹda Gbona Semikondokito:Apẹrẹ fun awọn ilana bii isọdi eeru kẹmika (CVD), idagba epitaxial, ati annealing, nibiti iṣakoso iwọn otutu deede ati agbara ohun elo ṣe pataki.
▪Awọn Olugbe Wafer & Awọn paadi:Ti ṣe apẹrẹ lati dimu ni aabo ati gbe awọn wafers lakoko awọn itọju igbona otutu-giga.
▪Awọn Ayika Ṣiṣẹ Pupọ: Dara fun awọn eto ti o nilo resistance si ooru, ifihan kemikali, ati aapọn ẹrọ.
Awọn anfani ti Silicon-Impregnated SiC
Apapo ti ohun alumọni ohun alumọni mimọ-giga ati imọ-ẹrọ impregnation ohun alumọni ti o ni ilọsiwaju pese awọn anfani iṣẹ ṣiṣe ti ko lẹgbẹ:
▪Itọkasi:Ṣe ilọsiwaju deede ati iṣakoso ti iṣelọpọ semikondokito.
▪Iduroṣinṣin:Fojusi awọn agbegbe ti o lewu laisi ibajẹ iṣẹ ṣiṣe.
▪Igba aye gigun:Faagun igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ iṣelọpọ semikondokito.
▪Iṣiṣẹ:Ṣe ilọsiwaju iṣẹ-ṣiṣe nipasẹ ṣiṣe idaniloju awọn abajade ti o gbẹkẹle ati deede.
Kini idi ti Yan Awọn Solusan SiC ti a fi Silicon-Imulẹ wa?
At Semicera, A ṣe pataki ni ipese awọn iṣeduro iṣẹ-giga ti a ṣe deede si awọn iwulo ti awọn aṣelọpọ semikondokito. Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle ati Wafer Carrier ṣe idanwo lile ati idaniloju didara lati pade awọn iṣedede ile-iṣẹ. Nipa yiyan Semicera, o ni iraye si awọn ohun elo gige-eti ti a ṣe apẹrẹ lati mu awọn ilana iṣelọpọ rẹ pọ si ati mu awọn agbara iṣelọpọ rẹ pọ si.
Imọ ni pato
▪Ohun eloOhun alumọni carbide mimọ-giga pẹlu ohun alumọni impregnation.
▪Iwọn iwọn otutu ti nṣiṣẹ:Titi di 2700 °C.
▪ Imudara Ooru:Iyatọ giga fun pinpin ooru aṣọ.
▪Awọn ohun-ini Atako:Oxidation, ipata, ati yiya-sooro.
▪Awọn ohun elo:Ibamu pẹlu ọpọlọpọ awọn ọna ṣiṣe iwọn otutu semikondokito.
Pe wa
Ṣetan lati gbe ilana iṣelọpọ semikondokito rẹ ga? OlubasọrọSemiceraloni lati ni imọ siwaju sii nipa Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle ati Wafer Carrier.
▪Imeeli: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Foonu: + 86-0574-8650 3783
▪Ibi:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, China
