Sobusitireti seramiki Silicon Nitride Semicera ṣe aṣoju ipo giga ti imọ-ẹrọ ohun elo to ti ni ilọsiwaju, ti n pese adaṣe igbona ailẹgbẹ ati awọn ohun-ini ẹrọ to lagbara. Ti a ṣe ẹrọ fun awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga, sobusitireti yii tayọ ni awọn agbegbe ti o nilo iṣakoso igbona ti o gbẹkẹle ati iduroṣinṣin igbekalẹ.
Awọn sobusitireti seramiki Silicon Nitride wa ti ṣe apẹrẹ lati koju awọn iwọn otutu to gaju ati awọn ipo lile, ti o jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun awọn ẹrọ itanna giga-giga ati awọn ẹrọ itanna igbohunsafẹfẹ giga. Imudani igbona ti o ga julọ ṣe idaniloju ifasilẹ ooru daradara, eyiti o ṣe pataki fun mimu iṣẹ ṣiṣe ati gigun ti awọn paati itanna.
Ifaramo Semicera si didara han ni gbogbo Silicon Nitride Seramiki Sobusitireti ti a ṣe. Sobusitireti kọọkan jẹ iṣelọpọ ni lilo awọn ilana-ti-ti-aworan lati rii daju iṣẹ ṣiṣe deede ati awọn abawọn to kere. Ipele giga ti konge yii ṣe atilẹyin awọn ibeere lile ti awọn ile-iṣẹ bii adaṣe, ọkọ ofurufu, ati awọn ibaraẹnisọrọ.
Ni afikun si igbona wọn ati awọn anfani ẹrọ, awọn sobusitireti wa nfunni awọn ohun-ini idabobo itanna to dara julọ, eyiti o ṣe alabapin si igbẹkẹle gbogbogbo ti awọn ẹrọ itanna rẹ. Nipa idinku kikọlu itanna ati imudara iduroṣinṣin paati, Semicera's Silicon Nitride Ceramic Substrates ṣe ipa to ṣe pataki ni jijẹ iṣẹ ẹrọ.
Yiyan Semicera's Silicon Nitride Seramiki Sobusitireti tumọ si idoko-owo ni ọja kan ti o ṣafipamọ iṣẹ giga mejeeji ati agbara. Awọn sobusitireti wa ni a ṣe atunṣe lati pade awọn iwulo ti awọn ohun elo itanna to ti ni ilọsiwaju, ni idaniloju pe awọn ẹrọ rẹ ni anfani lati imọ-ẹrọ ohun elo gige-eti ati igbẹkẹle iyasọtọ.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
