Silikoni On Insulator Wafer

Apejuwe kukuru:

Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer pese iyasọtọ itanna ati iṣakoso igbona fun awọn ohun elo ṣiṣe giga. Imọ-ẹrọ lati ṣe jiṣẹ ṣiṣe ẹrọ ti o ga julọ ati igbẹkẹle, awọn wafer wọnyi jẹ yiyan akọkọ fun imọ-ẹrọ semikondokito ilọsiwaju. Yan Semicera fun gige-eti SOI wafer awọn solusan.


Alaye ọja

ọja Tags

Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer wa ni iwaju iwaju ti imotuntun semikondokito, nfunni ni ipinya itanna imudara ati iṣẹ ṣiṣe igbona giga. Eto SOI, ti o ni Layer ohun alumọni tinrin lori sobusitireti idabobo, pese awọn anfani to ṣe pataki fun awọn ẹrọ itanna iṣẹ ṣiṣe giga.

Awọn wafers SOI wa jẹ apẹrẹ lati dinku agbara parasitic ati awọn ṣiṣan jijo, eyiti o ṣe pataki fun idagbasoke iyara giga ati awọn iyika iṣọpọ agbara kekere. Imọ-ẹrọ ilọsiwaju yii ṣe idaniloju pe awọn ẹrọ ṣiṣẹ daradara diẹ sii, pẹlu iyara ilọsiwaju ati idinku agbara agbara, pataki fun ẹrọ itanna ode oni.

Awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju ti o ṣiṣẹ nipasẹ Semicera ṣe iṣeduro iṣelọpọ ti awọn wafers SOI pẹlu iṣọkan ti o dara julọ ati aitasera. Didara yii ṣe pataki fun awọn ohun elo ni awọn ibaraẹnisọrọ, adaṣe, ati ẹrọ itanna olumulo, nibiti o ti nilo awọn paati ti o gbẹkẹle ati ṣiṣe giga.

Ni afikun si awọn anfani itanna wọn, awọn wafers SOI Semicera nfunni ni idabobo igbona ti o ga julọ, imudara itusilẹ ooru ati iduroṣinṣin ni iwuwo giga ati awọn ẹrọ agbara giga. Ẹya yii jẹ pataki ni pataki ni awọn ohun elo ti o kan iran ooru pataki ati nilo iṣakoso igbona to munadoko.

Nipa yiyan Silicon Semicera Lori Wafer Insulator, o ṣe idoko-owo sinu ọja kan ti o ṣe atilẹyin ilosiwaju ti awọn imọ-ẹrọ gige-eti. Ifaramo wa si didara ati ĭdàsĭlẹ ni idaniloju pe awọn wafers SOI wa pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito oni, pese ipilẹ fun awọn ẹrọ itanna iran-tẹle.

Awọn nkan

Ṣiṣejade

Iwadi

Idiwon

Crystal paramita

Polytype

4H

Dada Iṣalaye aṣiṣe

<11-20>4±0.15°

Itanna paramita

Dopant

n-iru Nitrogen

Resistivity

0.015-0.025ohm · cm

Awọn paramita ẹrọ

Iwọn opin

150.0 ± 0.2mm

Sisanra

350± 25 μm

Iṣalaye alapin akọkọ

[1-100]±5°

Ipari alapin akọkọ

47,5 ± 1.5mm

Atẹle alapin

Ko si

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Teriba

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Ogun

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Iwaju (Si-oju) líle (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Ilana

iwuwo Micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Irin impurities

≤5E10atomu/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Didara iwaju

Iwaju

Si

Ipari dada

Si-oju CMP

Awọn patikulu

≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm)

NA

Scratches

≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin

Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin

NA

Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti

Ko si

NA

Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan

Ko si

Awọn agbegbe Polytype

Ko si

Agbegbe akojo≤20%

Agbegbe akopọ≤30%

Iwaju lesa siṣamisi

Ko si

Didara Pada

Pada pari

C-oju CMP

Scratches

≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin

NA

Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents)

Ko si

Pada roughness

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Pada lesa siṣamisi

1 mm (lati eti oke)

Eti

Eti

Chamfer

Iṣakojọpọ

Iṣakojọpọ

Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale

Olona-wafer kasẹti apoti

* Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD.

tekinoloji_1_2_iwọn
SiC wafers

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: