Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer wa ni iwaju iwaju ti imotuntun semikondokito, nfunni ni ipinya itanna imudara ati iṣẹ ṣiṣe igbona giga. Eto SOI, ti o ni Layer ohun alumọni tinrin lori sobusitireti idabobo, pese awọn anfani to ṣe pataki fun awọn ẹrọ itanna iṣẹ ṣiṣe giga.
Awọn wafers SOI wa jẹ apẹrẹ lati dinku agbara parasitic ati awọn ṣiṣan jijo, eyiti o ṣe pataki fun idagbasoke iyara giga ati awọn iyika iṣọpọ agbara kekere. Imọ-ẹrọ ilọsiwaju yii ṣe idaniloju pe awọn ẹrọ ṣiṣẹ daradara diẹ sii, pẹlu iyara ilọsiwaju ati idinku agbara agbara, pataki fun ẹrọ itanna ode oni.
Awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju ti o ṣiṣẹ nipasẹ Semicera ṣe iṣeduro iṣelọpọ ti awọn wafers SOI pẹlu iṣọkan ti o dara julọ ati aitasera. Didara yii ṣe pataki fun awọn ohun elo ni awọn ibaraẹnisọrọ, adaṣe, ati ẹrọ itanna olumulo, nibiti o ti nilo awọn paati ti o gbẹkẹle ati ṣiṣe giga.
Ni afikun si awọn anfani itanna wọn, awọn wafers SOI Semicera nfunni ni idabobo igbona ti o ga julọ, imudara itusilẹ ooru ati iduroṣinṣin ni iwuwo giga ati awọn ẹrọ agbara giga. Ẹya yii jẹ pataki ni pataki ni awọn ohun elo ti o kan iran ooru pataki ati nilo iṣakoso igbona to munadoko.
Nipa yiyan Silicon Semicera Lori Wafer Insulator, o ṣe idoko-owo sinu ọja kan ti o ṣe atilẹyin ilosiwaju ti awọn imọ-ẹrọ gige-eti. Ifaramo wa si didara ati ĭdàsĭlẹ ni idaniloju pe awọn wafers SOI wa pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito oni, pese ipilẹ fun awọn ẹrọ itanna iran-tẹle.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
