Silikoni lori Insulator Waferslati Semicera jẹ apẹrẹ lati pade ibeere ti ndagba fun awọn solusan semikondokito iṣẹ-giga. Awọn wafers SOI wa nfunni ni iṣẹ itanna ti o ga julọ ati idinku agbara ẹrọ parasitic, ṣiṣe wọn ni apẹrẹ fun awọn ohun elo ilọsiwaju gẹgẹbi awọn ẹrọ MEMS, awọn sensọ, ati awọn iyika iṣọpọ. Imọye ti Semicera ni iṣelọpọ wafer ṣe idaniloju pe ọkọọkanSOI waferpese igbẹkẹle, awọn abajade didara ga fun awọn iwulo imọ-ẹrọ iran-tẹle rẹ.
TiwaSilikoni lori Insulator Waferspese iwọntunwọnsi ti o dara julọ laarin ṣiṣe iye owo ati iṣẹ ṣiṣe. Pẹlu iye owo wafer soi di ifigagbaga siwaju sii, awọn wafer wọnyi ni lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, pẹlu microelectronics ati optoelectronics. Ilana iṣelọpọ pipe-giga ti Semicera ṣe iṣeduro isọpọ wafer ti o ga julọ ati isokan, ṣiṣe wọn dara fun ọpọlọpọ awọn ohun elo, lati iho SOI wafers si awọn wafer ohun alumọni boṣewa.
Awọn ẹya pataki:
•Awọn wafers SOI ti o ga julọ ti iṣapeye fun iṣẹ ṣiṣe ni MEMS ati awọn ohun elo miiran.
•Iye owo wafer soi ifigagbaga fun awọn iṣowo ti n wa awọn solusan ti ilọsiwaju laisi ibajẹ didara.
•Apẹrẹ fun awọn imọ-ẹrọ gige-eti, fifunni iyasọtọ itanna imudara ati ṣiṣe ni ohun alumọni lori awọn eto insulator.
TiwaSilikoni lori Insulator Wafersti wa ni iṣẹ-ṣiṣe lati pese awọn iṣeduro iṣẹ-giga, ni atilẹyin igbi ti o tẹle ti imotuntun ni imọ-ẹrọ semikondokito. Boya o n ṣiṣẹ lori ihoSOI wafers, Awọn ẹrọ MEMS, tabi ohun alumọni lori awọn paati insulator, Semicera n pese awọn wafers ti o pade awọn ipele ti o ga julọ ni ile-iṣẹ naa.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
