Awọn sobusitireti Semicera Silicon jẹ iṣelọpọ lati pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito, ti o funni ni didara ti ko lẹgbẹ ati konge. Awọn sobusitireti wọnyi n pese ipilẹ ti o ni igbẹkẹle fun awọn ohun elo lọpọlọpọ, lati awọn iyika ti a ṣepọ si awọn sẹẹli fọtovoltaic, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ati igbesi aye gigun.
Iwa mimọ giga ti Awọn sobusitireti Silicon Semicera ṣe idaniloju awọn abawọn kekere ati awọn abuda itanna ti o ga julọ, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ ti awọn paati itanna ṣiṣe to gaju. Ipele mimọ yii ṣe iranlọwọ ni idinku pipadanu agbara ati imudarasi ṣiṣe gbogbogbo ti awọn ẹrọ semikondokito.
Semicera nlo awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ-ti-ti-aworan lati ṣe agbejade awọn sobusitireti ohun alumọni pẹlu iṣọkan alailẹgbẹ ati fifẹ. Itọkasi yii ṣe pataki fun iyọrisi awọn abajade deede ni iṣelọpọ semikondokito, nibiti paapaa iyatọ diẹ le ni ipa lori iṣẹ ẹrọ ati ikore.
Wa ni ọpọlọpọ awọn titobi ati awọn pato, Semicera Silicon Substrates ṣaajo si ọpọlọpọ awọn iwulo ile-iṣẹ. Boya o n dagbasoke awọn microprocessors eti-eti tabi awọn panẹli oorun, awọn sobusitireti wọnyi pese irọrun ati igbẹkẹle ti o nilo fun ohun elo rẹ pato.
Semicera jẹ igbẹhin si atilẹyin imotuntun ati ṣiṣe ni ile-iṣẹ semikondokito. Nipa ipese awọn sobusitireti ohun alumọni ti o ni agbara giga, a jẹ ki awọn aṣelọpọ lati Titari awọn aala ti imọ-ẹrọ, jiṣẹ awọn ọja ti o pade awọn ibeere idagbasoke ti ọja naa. Gbekele Semicera fun itanna iran-tẹle rẹ ati awọn solusan fọtovoltaic.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
