Semicera Silicon Wafers jẹ ti iṣelọpọ daradara lati ṣiṣẹ bi ipilẹ fun titobi awọn ohun elo semikondokito, lati microprocessors si awọn sẹẹli fọtovoltaic. Awọn wọnyi ni wafers ti wa ni atunse pẹlu ga konge ati ti nw, aridaju išẹ ti aipe ni orisirisi awọn ohun elo itanna.
Ti a ṣelọpọ nipa lilo awọn imuposi ilọsiwaju, Semicera Silicon Wafers ṣe afihan fifẹ alailẹgbẹ ati isokan, eyiti o ṣe pataki fun iyọrisi awọn eso giga ni iṣelọpọ semikondokito. Ipele konge yii ṣe iranlọwọ ni idinku awọn abawọn ati imudarasi ṣiṣe gbogbogbo ti awọn paati itanna.
Didara ti o ga julọ ti Semicera Silicon Wafers han gbangba ni awọn abuda itanna wọn, eyiti o ṣe alabapin si iṣẹ imudara ti awọn ẹrọ semikondokito. Pẹlu awọn ipele aimọ kekere ati didara gara ga, awọn wafers wọnyi pese pẹpẹ ti o dara julọ fun idagbasoke awọn ẹrọ itanna iṣẹ ṣiṣe giga.
Wa ni ọpọlọpọ awọn titobi ati awọn pato, Semicera Silicon Wafers le ṣe deede lati pade awọn iwulo pato ti awọn ile-iṣẹ oriṣiriṣi, pẹlu iširo, awọn ibaraẹnisọrọ, ati agbara isọdọtun. Boya fun iṣelọpọ iwọn-nla tabi iwadii amọja, awọn wafer wọnyi ṣe awọn abajade igbẹkẹle.
Semicera ti pinnu lati ṣe atilẹyin fun idagbasoke ati ĭdàsĭlẹ ti ile-iṣẹ semikondokito nipasẹ ipese awọn ohun alumọni ohun alumọni ti o ni agbara ti o ni ibamu pẹlu awọn ipele ile-iṣẹ ti o ga julọ. Pẹlu idojukọ lori konge ati igbẹkẹle, Semicera n jẹ ki awọn aṣelọpọ lati Titari awọn aala ti imọ-ẹrọ, ni idaniloju pe awọn ọja wọn duro ni iwaju ọja naa.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
