Semicera's SiN Ceramics Plain Substrates pese ojutu iṣẹ ṣiṣe giga fun ọpọlọpọ awọn ohun elo itanna ati ile-iṣẹ. Ti a mọ fun adaṣe igbona ti o dara julọ ati agbara ẹrọ, awọn sobusitireti wọnyi ṣe idaniloju iṣẹ igbẹkẹle ni awọn agbegbe ti o nbeere.
Awọn ohun elo SiN (Silicon Nitride) wa ti a ṣe lati mu awọn iwọn otutu ti o ga julọ ati awọn ipo ipọnju giga, ṣiṣe wọn dara fun awọn ẹrọ itanna ti o ga ati awọn ẹrọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju. Agbara wọn ati resistance si mọnamọna gbona jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun lilo ninu awọn ohun elo nibiti igbẹkẹle ati iṣẹ ṣe pataki.
Awọn ilana iṣelọpọ deede ti Semicera rii daju pe sobusitireti itele kọọkan pade awọn iṣedede didara to muna. Eyi ṣe abajade awọn sobusitireti pẹlu sisanra dédé ati didara dada, eyiti o ṣe pataki fun iyọrisi iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ni awọn apejọ itanna ati awọn eto.
Ni afikun si igbona wọn ati awọn anfani ẹrọ, SiN Ceramics Plain Substrates nfunni awọn ohun-ini idabobo itanna to dara julọ. Eyi ṣe idaniloju kikọlu itanna kekere ati ṣe alabapin si iduroṣinṣin gbogbogbo ati ṣiṣe ti awọn paati itanna, imudara igbesi aye iṣẹ wọn.
Nipa yiyan Semicera's SiN Ceramics Plain Substrates, o n yan ọja kan ti o ṣajọpọ imọ-jinlẹ ohun elo to ti ni ilọsiwaju pẹlu iṣelọpọ ogbontarigi. Ifaramo wa si didara ati isọdọtun ṣe iṣeduro pe o gba awọn sobusitireti ti o pade awọn iṣedede ile-iṣẹ ti o ga julọ ati ṣe atilẹyin aṣeyọri ti awọn iṣẹ akanṣe imọ-ẹrọ ilọsiwaju rẹ.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
