Semicera's SOI Wafer (Silicon On Insulator) jẹ apẹrẹ lati fi iyasọtọ itanna ti o ga julọ ati iṣẹ ṣiṣe igbona. Ẹya wafer tuntun tuntun, ti n ṣafihan Layer ohun alumọni lori ipele idabobo, ṣe idaniloju iṣẹ ẹrọ imudara ati idinku agbara agbara, ṣiṣe ni apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo imọ-ẹrọ giga.
Awọn wafers SOI wa nfunni awọn anfani iyasọtọ fun awọn iyika iṣọpọ nipa idinku agbara parasitic ati imudara iyara ẹrọ ati ṣiṣe. Eyi ṣe pataki fun ẹrọ itanna ode oni, nibiti iṣẹ giga ati ṣiṣe agbara ṣe pataki fun alabara mejeeji ati awọn ohun elo ile-iṣẹ.
Semicera nlo awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju lati ṣe agbejade awọn wafers SOI pẹlu didara deede ati igbẹkẹle. Awọn wafers wọnyi pese idabobo igbona ti o dara julọ, ṣiṣe wọn dara fun lilo ni awọn agbegbe nibiti itusilẹ ooru jẹ ibakcdun, gẹgẹbi ninu awọn ẹrọ itanna iwuwo giga ati awọn eto iṣakoso agbara.
Lilo awọn wafers SOI ni iṣelọpọ semikondokito ngbanilaaye fun idagbasoke ti kere, yiyara, ati awọn eerun igbẹkẹle diẹ sii. Ifaramo Semicera si imọ-ẹrọ to peye ṣe idaniloju pe awọn wafers SOI wa pade awọn iṣedede giga ti o nilo fun awọn imọ-ẹrọ gige-eti ni awọn aaye bii awọn ibaraẹnisọrọ, adaṣe, ati ẹrọ itanna olumulo.
Yiyan Semicera's SOI Wafer tumọ si idoko-owo ni ọja kan ti o ṣe atilẹyin ilosiwaju ti itanna ati awọn imọ-ẹrọ microelectronic. Awọn wafers wa ni a ṣe lati pese iṣẹ imudara ati agbara, idasi si aṣeyọri ti awọn iṣẹ-ṣiṣe imọ-ẹrọ giga rẹ ati rii daju pe o duro ni iwaju ti isọdọtun.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
