TaC ti a bo epitaxial wafer awọn gbigbeni a maa n lo ni igbaradi ti awọn ẹrọ optoelectronic ti o ga julọ, awọn ẹrọ agbara, awọn sensọ ati awọn aaye miiran. Eyiepitaxial wafer ti ngbentokasi si iwadi oro tiTaCfiimu tinrin lori sobusitireti lakoko ilana idagbasoke gara lati fẹlẹfẹlẹ kan wafer pẹlu eto kan pato ati iṣẹ fun igbaradi ẹrọ atẹle.
Imọ-ẹrọ igbafẹfẹ kemikali (CVD) ni a maa n lo lati mura silẹTaC ti a bo epitaxial wafer awọn gbigbe. Nipa didaṣe awọn ipilẹṣẹ Organic irin ati awọn gaasi orisun erogba ni iwọn otutu giga, fiimu TaC le wa ni ifipamọ sori oju ti sobusitireti gara. Fiimu yii le ni itanna to dara julọ, opitika ati awọn ohun-ini ẹrọ ati pe o dara fun igbaradi ti ọpọlọpọ awọn ẹrọ iṣẹ ṣiṣe giga.
Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide (TaC) amọja fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTaC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
