Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini.Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Silicon carbide (SiC) jẹ ohun elo bọtini ni iran kẹta ti awọn semikondokito, ṣugbọn oṣuwọn ikore rẹ ti jẹ ipin idiwọn fun idagbasoke ile-iṣẹ.Lẹhin idanwo nla ni awọn ile-iṣere Semicera, o ti rii pe sprayed ati sintered TaC ko ni mimọ to wulo ati isokan.Ni idakeji, ilana CVD ṣe idaniloju ipele mimọ ti 5 PPM ati iṣọkan ti o dara julọ.Lilo CVD TaC ṣe ilọsiwaju ni pataki oṣuwọn ikore ti awọn wafers carbide silikoni.A gba awọn ijiroroTaC Ti a bo Lẹẹdi Mẹta-Apakan oruka lati dinku awọn idiyele ti awọn wafers SiC.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka.Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTaC, iyatọ jẹ pataki.Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun.Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
