TaC ti a bo lẹẹdi guide orukatọkasi awọn iwadi oro ti a tinrin Layer titantalum carbidelori dada ti oruka itọsọna graphite lati mu ilọsiwaju yiya rẹ dara, resistance otutu otutu ati iduroṣinṣin kemikali. Yi ti a bo ti wa ni nigbagbogbo akoso lori dada ti a lẹẹdi guide oruka nipa imuposi bi ti ara oru iwadi oro (PVD) tabi kemikali oru iwadi oro (CVD).
Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
Awọn ẹya akọkọ ti TaC ti a bo awọn oruka itọsọna graphite pẹlu:
1. Iwọn otutu ti o ga julọ: TaC ti a bo ni iṣeduro iwọn otutu ti o dara julọ ati pe o le ṣetọju iduroṣinṣin ni awọn agbegbe otutu ti o ga.
2. Wọ resistance: Awọn ga líle ti awọn tantalum carbide tinrin Layer yoo fun awọn guide oruka ti o dara yiya resistance ati ki o fa awọn oniwe-iṣẹ aye.
3. Kemikali iduroṣinṣin: TaC ti a bo ni iduroṣinṣin to gaju lodi si ipata kemikali, ti o jẹ ki o dara fun awọn ohun elo ni diẹ ninu awọn media ibajẹ.
4. Din edekoyede: TaC bo le fe ni din edekoyede laarin lẹẹdi guide oruka ati awọn miiran irinše ati ki o mu awọn ṣiṣe ti darí edidi.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
