Ifihan to CVD TaC Coating:
CVD TaC Coating jẹ imọ-ẹrọ kan ti o nlo ifitonileti oru kẹmika lati fi awọ ti tantalum carbide (TaC) silẹ lori oke ti sobusitireti kan. Tantalum carbide jẹ ohun elo seramiki ti o ga julọ pẹlu ẹrọ ti o dara julọ ati awọn ohun-ini kemikali. Ilana CVD n ṣe agbekalẹ fiimu TaC aṣọ kan lori dada ti sobusitireti nipasẹ iṣesi gaasi.
Awọn ẹya akọkọ:
O tayọ líle ati wọ resistance: Tantalum carbide ni o ni lalailopinpin giga líle, ati CVD TaC Coating le significantly mu awọn yiya resistance ti awọn sobusitireti. Eyi jẹ ki aabọ ti o dara julọ fun awọn ohun elo ni awọn agbegbe ti o ga julọ, gẹgẹbi awọn irinṣẹ gige ati awọn apẹrẹ.
Iduroṣinṣin otutu giga: Awọn ideri TaC ṣe aabo ileru to ṣe pataki ati awọn paati riakito ni awọn iwọn otutu to 2200 ° C, ti n ṣafihan iduroṣinṣin to dara. O ṣe itọju kemikali ati iduroṣinṣin ẹrọ labẹ awọn ipo iwọn otutu to gaju, ṣiṣe ni o dara fun sisẹ iwọn otutu ati awọn ohun elo ni awọn agbegbe iwọn otutu giga.
O tayọ kemikali iduroṣinṣin: Tantalum carbide ni o ni lagbara ipata resistance si julọ acids ati alkalis, ati CVD TaC Coating le fe ni se ibaje si sobusitireti ni ipata agbegbe.
Ga yo ojuami: Tantalum carbide ni aaye ti o ga julọ (iwọn 3880 ° C), gbigba CVD TaC Coating lati ṣee lo ni awọn ipo otutu ti o ga julọ laisi yo tabi ibajẹ.
O tayọ gbona elekitiriki: TaC ti a bo ni o ni ga gbona conductivity, eyi ti o iranlọwọ lati fe ni dissipate ooru ni ga-otutu lakọkọ ati ki o se agbegbe overheating.
Awọn ohun elo ti o pọju:
• Gallium Nitride (GaN) ati Silicon Carbide epitaxial CVD awọn paati reactor pẹlu awọn gbigbe wafer, awọn satẹlaiti satẹlaiti, awọn ori iwẹ, awọn orule, ati awọn ifura.
• Silicon carbide, gallium nitride ati aluminiomu nitride (AlN) awọn paati idagbasoke gara gara pẹlu awọn crucibles, awọn imudani irugbin, awọn oruka itọsọna ati awọn asẹ
• Awọn paati ile-iṣẹ pẹlu awọn eroja alapapo resistance, awọn nozzles abẹrẹ, awọn oruka iparada ati awọn jigi brazing
Awọn ẹya ara ẹrọ ohun elo:
Iduroṣinṣin iwọn otutu ju 2000 ° C, gbigba iṣẹ ni awọn iwọn otutu to gaju
• Sooro si hydrogen (Hz), amonia (NH3), monosilane (SiH4) ati silikoni (Si), pese aabo ni awọn agbegbe kemikali ti o lagbara.
• Awọn oniwe-gbona mọnamọna resistance kí yiyara awọn ọna iyipo
• Graphite ni ifaramọ to lagbara, ni idaniloju igbesi aye iṣẹ pipẹ ati pe ko si delamination ti a bo.
• Ultra-ga ti nw lati se imukuro kobojumu impurities tabi contaminants
• Iduro bo ibaramu si awọn ifarada onisẹpo ju
Imọ ni pato:
Igbaradi ti ipon tantalum carbide ti a bo nipasẹ CVD:
Ti a bo TAC pẹlu kristalinity giga ati iṣọkan ti o dara julọ:
CVD TAC COATING Imọ Parameters_Semicera:
| Ti ara-ini ti TaC bo | |
| iwuwo | 14.3 (g/cm³) |
| Olopobobo ifọkansi | 8 x1015/cm |
| Ijadejade pato | 0.3 |
| Gbona imugboroosi olùsọdipúpọ | 6.3 10-6/K |
| Lile (HK) | 2000 HK |
| Olopobobo Resistivity | 4,5 ohm-cm |
| Atako | 1x10-5Ohm * cm |
| Iduroṣinṣin gbona | <2500℃ |
| Gbigbe | 237 cm2/Vs |
| Awọn iyipada iwọn ayaworan | -10 ~-20um |
| Aso sisanra | ≥20um iye aṣoju (35um+10um) |
Awọn loke jẹ awọn iye aṣoju.
