TaC ti a bojẹ ohun elo ti o ṣe pataki ti a bo, eyiti a maa n pese sile lori ipilẹ graphite nipasẹ imọ-ẹrọ ọfin kemikali ti irin Organic (MOCVD). Iboju yii ni awọn ohun-ini ti o dara julọ, gẹgẹbi lile lile, resistance yiya ti o dara julọ, resistance otutu otutu ati iduroṣinṣin kemikali, ati pe o dara fun ọpọlọpọ awọn ohun elo imọ-ẹrọ giga.
Imọ-ẹrọ MOCVD jẹ imọ-ẹrọ idagbasoke fiimu tinrin tinrin ti o wọpọ ti o fi fiimu idapọmọra ti o fẹ sori dada sobusitireti nipa didaṣe awọn aṣaaju Organic irin pẹlu awọn gaasi ifaseyin ni awọn iwọn otutu giga. Nigbati ngbaradiTaC ti a bo, Yiyan awọn aṣaju Organic ti irin ti o yẹ ati awọn orisun erogba, iṣakoso awọn ipo iṣesi ati awọn igbelewọn ifisilẹ, aṣọ-aṣọ kan ati ipon fiimu TaC le wa ni ipamọ lori ipilẹ graphite kan.
Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
