TaC Coated Plate jẹ disiki amọja ti a ṣe apẹrẹ fun lilo ninu awọn ilana apọju SiC, ti a ṣe pẹlu pipe lati ohun elo graphite ti o ni agbara giga. Ilẹ rẹ ni a bo daadaa pẹlu tantalum carbide (TaC), yellow ti a mọ fun mimọ ati agbara alailẹgbẹ rẹ. Iboju TaC ṣe alekun agbara awo ati resistance si awọn iwọn otutu giga, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ipo ibeere ti awọn ilana apọju SiC.
Awo Ti a bo TaC tuntun tuntun jẹ disiki amọja ti a ṣe apẹrẹ fun lilo ninu awọn ilana apọju SiC, ti a ṣe pẹlu pipe lati ohun elo graphite didara ga. Dada Awo Ti a bo TaC ti ni kikun ti a bo pẹlu tantalum carbide (TaC), yellow ti a mọ fun mimọ ati agbara alailẹgbẹ rẹ. ṣiṣẹ bi pẹpẹ ti o gbẹkẹle fun gbigbe awọn wafers lakoko awọn ipele pupọ ti idagbasoke SiC epitaxial. Ipilẹ lẹẹdi mimọ-giga rẹ n pese aaye iduroṣinṣin ati inert, lakoko ti ibora TaC ṣe afikun afikun aabo ti aabo lodi si awọn aati kemikali ati yiya.
AgbedemejiakokoTaC Coated Plate ti wa ni adani ni ibamu si awọn ibeere kan pato ti awọn alabara, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ati ibamu pẹlu awọn eto apọju SiC wọn. Boya iwọn, apẹrẹ, tabi awọn pato miiran, awọn awo wọnyi jẹ ti a ṣe lati pade awọn iwulo alailẹgbẹ ti gbogbo ohun elo.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
