Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Graphite jẹ ohun elo otutu giga ti o dara julọ, ṣugbọn o oxidizes ni irọrun ni awọn iwọn otutu giga. Paapaa ninu awọn ileru igbale pẹlu gaasi inert, o tun le faragba ifoyina lọra. Lilo a CVD tantalum carbide (TaC) ti a bo le fe ni aabo awọn lẹẹdi sobusitireti, pese kanna ga-otutu resistance bi lẹẹdi. TaC tun jẹ ohun elo inert, afipamo pe kii yoo fesi pẹlu awọn gaasi bii argon tabi hydrogen ni awọn iwọn otutu giga.ÌbéèrèTantalum Carbide CVD Coating Crucible bayi!
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
