Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Awọn gbigbe wafer ti Tantalum carbide ti a bo ni lilo pupọ ni sisẹ wafer ati awọn ilana mimu ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Wọn pese atilẹyin iduroṣinṣin ati aabo lati rii daju aabo, deede ati aitasera ti wafers lakoko ilana iṣelọpọ. Awọn aṣọ ibora ti Tantalum carbide le fa igbesi aye iṣẹ ti awọn ti ngbe, dinku awọn idiyele, ati ilọsiwaju didara ati igbẹkẹle ti awọn ọja semikondokito.
Apejuwe ti tantalum carbide ti a bo wafer ti ngbe jẹ bi atẹle:
1. Aṣayan ohun elo: Tantalum carbide jẹ ohun elo ti o ni iṣẹ ti o dara julọ, lile lile, aaye yo to gaju, ipata ipata ati awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ, nitorina o jẹ lilo pupọ ni ilana iṣelọpọ semikondokito.
2. Imudanu oju-iwe: Tantalum carbide cover ti wa ni lilo si oju ti ọkọ ayọkẹlẹ wafer nipasẹ ilana iṣeduro pataki kan lati ṣe aṣọ aṣọ ati ipon tantalum carbide. Yi bo le pese afikun aabo ati wọ resistance, nigba ti nini ti o dara gbona iba ina elekitiriki.
3. Fifẹ ati titọ: Tantalum carbide ti a bo wafer ti ngbe ni ipele giga ti fifẹ ati titọ, ni idaniloju iduroṣinṣin ati deede ti awọn wafers lakoko ilana iṣelọpọ. Fifẹ ati ipari ti dada ti ngbe jẹ pataki lati rii daju didara ati iṣẹ ti wafer.
4. Iduroṣinṣin iwọn otutu: Tantalum carbide ti a bo awọn ọkọ ayọkẹlẹ wafer le ṣetọju iduroṣinṣin ni awọn agbegbe iwọn otutu ti o ga julọ laisi iyipada tabi sisọ, ti o ni idaniloju iduroṣinṣin ati aitasera ti awọn wafers ni awọn ilana ti o ga julọ.
5. Idena ibajẹ: Tantalum carbide coatings ni o ni idaniloju ipata ti o dara julọ, o le koju ipalara ti awọn kemikali ati awọn nkanmimu, ati ki o dabobo awọn ti ngbe lati omi bibajẹ ati gaasi ipata.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
