Tantalum carbide ti a bo lẹẹdi dìni a lẹẹdi awọn ohun elo ti pẹlu kan tinrin Layer titantalum carbidelori dada ti sobusitireti. Awọn tinrin Layer ti tantalum carbide ti wa ni maa akoso lori dada ti lẹẹdi sobusitireti nipa imuposi bi ti ara oru iwadi oro (PVD) tabi kemikali oru iwadi oro (CVD). Ibora yii ni awọn ohun-ini ti o dara julọ gẹgẹbi lile lile, resistance yiya ti o dara julọ, idena ipata ati iduroṣinṣin otutu giga.
Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
Awọn anfani akọkọ ti tantalum carbide ti a bo graphite dì pẹlu:
1. Iwọn otutu ti o ga julọ: Tantalum carbide ni aaye gbigbọn giga ati imuduro otutu ti o dara julọ, ṣiṣe awọn iwe graphite ti a bo ti o dara fun lilo ni awọn agbegbe otutu ti o ga.
2. Idaabobo ibajẹ: Tantalum carbide ti a bo le koju ijakulẹ ti ọpọlọpọ awọn nkan ti o ni ipalara ti kemikali ati ki o fa igbesi aye iṣẹ ti ohun elo naa.
3. Lile giga: Lile giga ti tantalum carbide tinrin Layer pese resistance ti o dara ati pe o dara fun awọn ohun elo ti o nilo resistance to gaju.
4. Kemikali iduroṣinṣin: Tantalum carbide ti a bo ni iduroṣinṣin to dara julọ si ipata kemikali ati pe o dara fun lilo diẹ ninu awọn media ibajẹ.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa: