Tantalum carbide ti a bo susceptor support awoni a susceptor tabi support be ti o ti wa ni bo pelu kan tinrin Layer titantalum carbide. Yi bo le ti wa ni akoso lori awọn susceptor dada nipa imuposi bi awọn ti ara oru iwadi (PVD) tabi kemikali oru iwadi oro (CVD), fifun awọn suceptor awọn ti o ga-ini titantalum carbide.
Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
Awọn ẹya akọkọ ti tantalum carbide ti a bo ipilẹ atilẹyin awọn awopọ pẹlu:
1. Iduroṣinṣin iwọn otutu: Tantalum carbide ni iduroṣinṣin iwọn otutu ti o dara julọ, ṣiṣe apẹrẹ atilẹyin ipilẹ ti a bo ti o dara fun awọn aini atilẹyin ni awọn agbegbe iṣẹ ti o ga.
2. Idena ibajẹ: Tantalum carbide ti o ni idaabobo ti o dara ti o dara, o le koju ipata kemikali ati oxidation, ati fa igbesi aye iṣẹ ti ipilẹ.
3. Lile giga ati wiwọ resistance: Imudani giga ti tantalum carbide ti a bo fun ipilẹ atilẹyin awo ti o dara resistance resistance, eyiti o dara fun awọn iṣẹlẹ ti o nilo resistance to gaju.
4. Kemikali iduroṣinṣin: Tantalum carbide ni iduroṣinṣin to gaju si ọpọlọpọ awọn nkan ti kemikali, ṣiṣe awo atilẹyin ipilẹ ti a bo ṣe daradara ni diẹ ninu awọn agbegbe ibajẹ.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
