Ṣiṣeto MEMS - Isopọmọ: Ohun elo ati Iṣe ni Ile-iṣẹ Semiconductor, Iṣẹ Adani Semicera
Ninu awọn ile-iṣẹ microelectronics ati awọn ile-iṣẹ semikondokito, imọ-ẹrọ MEMS (awọn ọna ṣiṣe micro-electromechanical) ti di ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ pataki ti o wakọ imotuntun ati awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga. Pẹlu ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ ati imọ-ẹrọ, imọ-ẹrọ MEMS ti ni lilo pupọ ni awọn sensọ, awọn oṣere, awọn ẹrọ opiti, ohun elo iṣoogun, ẹrọ itanna ati awọn aaye miiran, ati pe o ti di apakan pataki ti imọ-ẹrọ ode oni. Ni awọn aaye wọnyi, ilana isọpọ (Bonding), gẹgẹbi igbesẹ bọtini ni sisẹ MEMS, ṣe ipa pataki ninu iṣẹ ati igbẹkẹle ẹrọ naa.
Isopọmọ jẹ imọ-ẹrọ kan ti o dapọ mọ awọn ohun elo meji tabi diẹ sii nipasẹ awọn ọna ti ara tabi kemikali. Nigbagbogbo, awọn fẹlẹfẹlẹ ohun elo oriṣiriṣi nilo lati sopọ nipasẹ sisopọ ni awọn ẹrọ MEMS lati ṣaṣeyọri iduroṣinṣin igbekalẹ ati imuse iṣẹ. Ninu ilana iṣelọpọ ti awọn ẹrọ MEMS, ifaramọ kii ṣe ilana asopọ nikan, ṣugbọn tun ni ipa taara iduroṣinṣin igbona, agbara ẹrọ, iṣẹ itanna ati awọn ẹya miiran ti ẹrọ naa.
Ni iṣelọpọ MEMS ti o ga julọ, imọ-ẹrọ imora nilo lati rii daju isunmọ isunmọ laarin awọn ohun elo lakoko yago fun awọn abawọn eyikeyi ti o ni ipa lori iṣẹ ẹrọ naa. Nitorinaa, iṣakoso deede ti ilana isunmọ ati awọn ohun elo imudara didara ga jẹ awọn ifosiwewe bọtini lati rii daju pe ọja ikẹhin pade awọn iṣedede ile-iṣẹ.
Awọn ohun elo isunmọ MEMS ni ile-iṣẹ semikondokito
Ninu ile-iṣẹ semikondokito, imọ-ẹrọ MEMS ni lilo pupọ ni iṣelọpọ awọn ẹrọ micro gẹgẹbi awọn sensọ, awọn accelerometers, awọn sensọ titẹ, ati awọn gyroscopes. Pẹlu ibeere ti npo si fun miniaturized, iṣọpọ, ati awọn ọja oye, deede ati awọn ibeere iṣẹ ti awọn ẹrọ MEMS tun n pọ si. Ninu awọn ohun elo wọnyi, imọ-ẹrọ imora ni a lo lati sopọ awọn ohun elo oriṣiriṣi bii awọn ohun elo silikoni, gilasi, awọn irin, ati awọn polima lati ṣaṣeyọri awọn iṣẹ ṣiṣe daradara ati iduroṣinṣin.
1. Awọn sensọ titẹ ati awọn accelerometers
Ni awọn aaye ti awọn ọkọ ayọkẹlẹ, afẹfẹ afẹfẹ, ẹrọ itanna olumulo, ati bẹbẹ lọ, awọn sensọ titẹ MEMS ati awọn accelerometers ni lilo pupọ ni wiwọn ati awọn eto iṣakoso. Ilana ifaramọ naa ni a lo lati sopọ awọn eerun ohun alumọni ati awọn eroja sensọ lati rii daju ifamọ giga ati deede. Awọn sensọ wọnyi gbọdọ ni anfani lati koju awọn ipo ayika to gaju, ati awọn ilana isọpọ didara le ṣe idiwọ awọn ohun elo ni imunadoko lati yapa tabi aiṣedeede nitori awọn iyipada iwọn otutu.
2. Micro-optical awọn ẹrọ ati MEMS opitika yipada
Ni aaye ti awọn ibaraẹnisọrọ opiti ati awọn ẹrọ laser, awọn ẹrọ itanna MEMS ati awọn iyipada opiti ṣe ipa pataki. Imọ-ẹrọ imora ni a lo lati ṣaṣeyọri asopọ deede laarin awọn ohun elo MEMS ti o da lori ohun alumọni ati awọn ohun elo bii awọn okun opiti ati awọn digi lati rii daju ṣiṣe ati iduroṣinṣin ti gbigbe ifihan agbara opitika. Paapa ni awọn ohun elo pẹlu igbohunsafẹfẹ giga, bandiwidi jakejado ati gbigbe ijinna pipẹ, imọ-ẹrọ isọdọmọ iṣẹ-giga jẹ pataki.
3. Awọn gyroscopes MEMS ati awọn sensọ inertial
Awọn gyroscopes MEMS ati awọn sensọ inertial jẹ lilo pupọ fun lilọ kiri kongẹ ati ipo ni awọn ile-iṣẹ giga-giga gẹgẹbi awakọ adase, awọn roboti, ati aaye afẹfẹ. Awọn ilana isunmọ ti o ga julọ le rii daju pe igbẹkẹle awọn ẹrọ ati yago fun ibajẹ iṣẹ tabi ikuna lakoko iṣiṣẹ igba pipẹ tabi iṣẹ-igbohunsafẹfẹ giga.
Awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe bọtini ti imọ-ẹrọ imora ni sisẹ MEMS
Ninu sisẹ MEMS, didara ilana isọdọmọ taara pinnu iṣẹ ṣiṣe, igbesi aye ati iduroṣinṣin ti ẹrọ naa. Lati rii daju pe awọn ẹrọ MEMS le ṣiṣẹ ni igbẹkẹle fun igba pipẹ ni ọpọlọpọ awọn oju iṣẹlẹ ohun elo, imọ-ẹrọ imora gbọdọ ni iṣẹ bọtini atẹle wọnyi:
1. Iduroṣinṣin igbona giga
Ọpọlọpọ awọn agbegbe ohun elo ni ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ipo iwọn otutu giga, ni pataki ni awọn aaye ti awọn ọkọ ayọkẹlẹ, afẹfẹ afẹfẹ, bbl Iduroṣinṣin gbona ti ohun elo imora jẹ pataki ati pe o le koju awọn iyipada iwọn otutu laisi ibajẹ tabi ikuna.
2. Giga yiya resistance
Awọn ẹrọ MEMS maa n kan awọn ẹya-ara micro-mechanical, ati ija igba pipẹ ati gbigbe le fa yiya ti awọn ẹya asopọ. Awọn ohun elo imora nilo lati ni o tayọ yiya resistance lati rii daju awọn iduroṣinṣin ati ṣiṣe ti awọn ẹrọ ni gun-igba lilo.
3. Giga ti nw
Ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere ti o muna pupọ lori mimọ ohun elo. Eyikeyi idoti kekere le fa ikuna ẹrọ tabi ibajẹ iṣẹ. Nitorinaa, awọn ohun elo ti a lo ninu ilana isunmọ gbọdọ ni mimọ to gaju pupọ lati rii daju pe ẹrọ naa ko ni ipa nipasẹ ibajẹ ita lakoko iṣẹ.
4. Kongẹ imora išedede
Awọn ẹrọ MEMS nigbagbogbo nilo ipele micron tabi paapaa deede sisẹ ipele nanometer. Ilana imora gbọdọ rii daju docking kongẹ ti ipele ohun elo kọọkan lati rii daju pe iṣẹ ati iṣẹ ẹrọ naa ko ni ipa.
Anodic imora
Isopọmọ anodic:
● Ti o wulo fun sisopọ laarin awọn ohun alumọni siliki ati gilasi, irin ati gilasi, semikondokito ati alloy, ati semikondokito ati gilasi
Isopọmọ Eutectoid:
● Kan si awọn ohun elo bii PbSn, AuSn, CuSn, ati AuSi
Isopọmọ lẹmọ:
● Lo lẹ pọ mọra pataki, ti o dara fun awọn lẹ pọ mọra pataki gẹgẹbi AZ4620 ati SU8
● Kan si 4-inch ati 6-inch
Semicera Custom imora Service
Gẹgẹbi olupese ti ile-iṣẹ ti awọn iṣeduro iṣelọpọ MEMS, Semicera ṣe ifaramọ lati pese awọn alabara pẹlu pipe-giga, awọn iṣẹ isọdọkan adani iduroṣinṣin giga. Imọ-ẹrọ imora wa le ṣee lo ni lilo pupọ ni asopọ ti awọn ohun elo oriṣiriṣi, pẹlu ohun alumọni, gilasi, irin, awọn ohun elo amọ, ati bẹbẹ lọ, n pese awọn solusan imotuntun fun awọn ohun elo giga-giga ni semikondokito ati awọn aaye MEMS.
Semicera ti ni ilọsiwaju ohun elo iṣelọpọ ati awọn ẹgbẹ imọ-ẹrọ, ati pe o le pese awọn solusan isunmọ ti adani ni ibamu si awọn iwulo pato ti awọn alabara. Boya o jẹ asopọ ti o gbẹkẹle labẹ iwọn otutu giga ati agbegbe titẹ giga, tabi isomọ ẹrọ micro-pipe, Semicera le pade ọpọlọpọ awọn ibeere ilana eka lati rii daju pe ọja kọọkan le pade awọn iṣedede didara ti o ga julọ.
Iṣẹ isunmọ aṣa wa ko ni opin si awọn ilana isunmọ aṣa, ṣugbọn tun pẹlu isunmọ irin, isunmọ ifunmọ gbona, isunmọ alemora ati awọn ilana miiran, eyiti o le pese atilẹyin imọ-ẹrọ ọjọgbọn fun awọn ohun elo oriṣiriṣi, awọn ẹya ati awọn ibeere ohun elo. Ni afikun, Semicera tun le pese awọn alabara pẹlu iṣẹ ni kikun lati idagbasoke apẹrẹ si iṣelọpọ pupọ lati rii daju pe gbogbo ibeere imọ-ẹrọ ti awọn alabara le ni imuse deede.
