Semicera ṣafihan aṣaaju-ọna ile-iṣẹWafer Carriers, ti a ṣe atunṣe lati pese aabo ti o ga julọ ati gbigbe ti ko ni oju ti awọn wafers semikondokito elege kọja awọn ipele oriṣiriṣi ti ilana iṣelọpọ. TiwaWafer Carriersti ṣe apẹrẹ ni itara lati pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito ode oni, ni idaniloju iduroṣinṣin ati didara awọn wafers rẹ ni itọju ni gbogbo igba.
Awọn ẹya pataki:
• Ikole Ohun elo Ere:Ti a ṣe lati didara-giga, awọn ohun elo sooro idoti ti o ṣe iṣeduro agbara ati igbesi aye gigun, ṣiṣe wọn jẹ apẹrẹ fun awọn agbegbe mimọ.
•Apẹrẹ pipe:Awọn ẹya ara ẹrọ titete iho kongẹ ati awọn ilana idaduro to ni aabo lati ṣe idiwọ yiyọ wafer ati ibajẹ lakoko mimu ati gbigbe.
•Ibamu Wapọ:Gba ọpọlọpọ awọn iwọn wafer ati sisanra, n pese irọrun fun ọpọlọpọ awọn ohun elo semikondokito.
•Mimu Ergonomic:Iwọn iwuwo fẹẹrẹ ati apẹrẹ ore-olumulo n ṣe irọrun ikojọpọ ati ikojọpọ irọrun, imudara ṣiṣe ṣiṣe ati idinku akoko mimu.
•Awọn aṣayan isọdi:Nfunni isọdi-ara lati pade awọn ibeere kan pato, pẹlu yiyan ohun elo, awọn atunṣe iwọn, ati isamisi fun iṣọpọ iṣan-iṣẹ iṣapeye.
Ṣe ilọsiwaju ilana iṣelọpọ semikondokito rẹ pẹlu Semicera'sWafer CarriersOjutu pipe fun aabo awọn wafers rẹ lodi si ibajẹ ati ibajẹ ẹrọ. Gbẹkẹle ifaramo wa si didara ati ĭdàsĭlẹ lati fi awọn ọja ti ko ni ibamu nikan ṣugbọn kọja awọn iṣedede ile-iṣẹ, ni idaniloju pe awọn iṣẹ rẹ nṣiṣẹ laisiyonu ati daradara.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
