Semicera ṣafihan awọnWafer Cassette ti ngbe, Ojutu to ṣe pataki fun aabo ati mimu daradara ti awọn wafers semikondokito. Ti ṣe ẹrọ ti ngbe yii lati pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito, ni idaniloju aabo ati iduroṣinṣin ti awọn wafers rẹ jakejado ilana iṣelọpọ.
Awọn ẹya pataki:
•Ikole ti o lagbara:AwọnWafer Cassette ti ngbeti a ṣe lati awọn ohun elo ti o ga julọ, awọn ohun elo ti o tọ ti o duro fun awọn iṣoro ti awọn agbegbe semikondokito, pese aabo ti o gbẹkẹle lodi si ibajẹ ati ibajẹ ti ara.
•Iṣatunṣe to peye:Ti a ṣe apẹrẹ fun titete wafer deede, agbẹru yii ṣe idaniloju pe awọn wafers wa ni aabo ni aye, dinku eewu aiṣedeede tabi ibajẹ lakoko gbigbe.
•Mimu Rọrun:Ergonomically ti a ṣe apẹrẹ fun irọrun ti lilo, ti ngbe ni irọrun ilana ikojọpọ ati ikojọpọ, imudarasi ṣiṣe ṣiṣe ṣiṣe ni awọn agbegbe mimọ.
•Ibamu:Ni ibamu pẹlu ọpọlọpọ awọn titobi wafer ati awọn oriṣi, ṣiṣe ni wapọ fun ọpọlọpọ awọn iwulo iṣelọpọ semikondokito.
Ni iriri aabo ailopin ati irọrun pẹlu Semicera'sWafer Cassette ti ngbe. A ṣe apẹrẹ ti ngbe wa lati pade awọn iṣedede ti o ga julọ ti iṣelọpọ semikondokito, ni idaniloju pe awọn wafers rẹ wa ni ipo pristine lati ibẹrẹ si ipari. Gbekele Semicera lati ṣafipamọ didara ati igbẹkẹle ti o nilo fun awọn ilana pataki julọ rẹ.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-setan pẹlu igbale apoti Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
