19 ona 2 inch lẹẹdi mimọ MOCVD ẹrọ awọn ẹya ara

Apejuwe kukuru:

Ifihan ọja ati lilo: Gbe awọn ege 19 ti sobusitireti akoko 2 fun idagbasoke ti fiimu epitaxial LED ultraviolet jinlẹ

Ipo ẹrọ ti ọja: ni iyẹwu ifaseyin, ni olubasọrọ taara pẹlu wafer

Awọn ọja isalẹ akọkọ: Awọn eerun LED

Main opin oja: LED


Alaye ọja

ọja Tags

Apejuwe

Ile-iṣẹ wa peseSiC ti a boawọn iṣẹ ilana nipasẹ ọna CVD lori oju ti graphite, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran, nitorinaa awọn gaasi pataki ti o ni erogba ati ohun alumọni fesi ni iwọn otutu giga lati gba awọn ohun elo SiC mimọ giga, awọn ohun elo ti a fi silẹ lori oju awọn ohun elo ti a bo, ti o dagbaSiC aabo Layer.

Akọkọ Awọn ẹya ara ẹrọ

1. Idaabobo ifoyina otutu otutu:
resistance ifoyina tun dara pupọ nigbati iwọn otutu ba ga to 1600 C.
2. Iwa mimọ to gaju: ti a ṣe nipasẹ ifasilẹ ọru kemikali labẹ ipo chlorination otutu otutu.
3. Ogbara resistance: ga líle, iwapọ dada, itanran patikulu.
4. Ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.

Awọn pato akọkọ ti CVD-SIC Coating

Awọn ohun-ini SiC-CVD
Crystal Be FCC β ipele
iwuwo g/cm³ 3.21
Lile Vickers líle 2500
Iwọn Ọkà μm 2 ~ 10
Kẹmika Mimọ % 99.99995
Agbara Ooru J·k-1 · K-1 640
Sublimation otutu 2700
Agbara Felexural MPa (RT 4-ojuami) 415
Modulu ọdọ Gpa (4pt tẹ, 1300℃) 430
Imugboroosi Gbona (CTE) 10-6K-1 4.5
Gbona elekitiriki (W/mK) 300
19 ona 2 inch lẹẹdi mimọ MOCVD ẹrọ awọn ẹya ara

Ohun elo

nipa

Semicera Work ibi
Ibi iṣẹ Semicera 2
Ẹrọ ẹrọ
CNN processing, kemikali ninu, CVD bo
Semicera Ware Ile
Iṣẹ wa

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: