Semicera ṣafihan aṣa didara-gigasilikoni carbide cantilever paddlesti a ṣe lati gbe awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ga. Awọn aseyoriSiC paddleApẹrẹ ṣe idaniloju agbara iyasọtọ ati resistance igbona giga, ti o jẹ ki o jẹ paati pataki fun mimu wafer ni awọn agbegbe awọn agbegbe iwọn otutu nija.
AwọnSilikoni carbide paddleti a ṣe lati koju awọn akoko igbona iwọn otutu lakoko mimu iduroṣinṣin igbekalẹ, ni idaniloju gbigbe gbigbe wafer ti o gbẹkẹle lakoko awọn ipele to ṣe pataki ti iṣelọpọ semikondokito. Pẹlu superior darí agbara, yiwafer ọkọdinku eewu ti ibajẹ si awọn wafers, ti o yori si awọn eso ti o ga julọ ati didara iṣelọpọ deede.
Ọkan ninu awọn imotuntun bọtini ni paddle Semicera's SiC wa ni awọn aṣayan apẹrẹ aṣa rẹ. Ti a ṣe deede lati pade awọn iwulo iṣelọpọ kan pato, paddle naa nfunni ni irọrun ni iṣọpọ pẹlu ọpọlọpọ awọn iṣeto ohun elo, ṣiṣe ni ojutu pipe fun awọn ilana iṣelọpọ ode oni. Itumọ iwuwo sibẹsibẹ ti o lagbara n jẹ ki mimu irọrun mu ati dinku akoko iṣẹ ṣiṣe, idasi si imudara ilọsiwaju ni iṣelọpọ semikondokito.
Ni afikun si awọn oniwe-gbona ati darí-ini, awọnSilikoni carbide paddlenfunni ni resistance kemikali ti o dara julọ, gbigba laaye lati ṣe ni igbẹkẹle paapaa ni awọn agbegbe kemikali lile. Eyi jẹ ki o dara ni pataki fun lilo ninu awọn ilana ti o kan etching, ifisilẹ, ati itọju iwọn otutu giga, nibiti mimu iduroṣinṣin ti ọkọ oju omi wafer ṣe pataki fun idaniloju awọn abajade didara ga.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
