Semicera ṣafihan aṣa didara-gigasilikoni carbide cantilever paddlesti a ṣe lati gbe awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ga. Awọn aseyoriSiC paddleApẹrẹ ṣe idaniloju agbara iyasọtọ ati resistance igbona giga, ti o jẹ ki o jẹ paati pataki fun mimu wafer ni awọn agbegbe awọn agbegbe iwọn otutu nija.
AwọnSilikoni carbide paddleti a ṣe lati koju awọn iyipo igbona iwọn otutu lakoko mimu iduroṣinṣin igbekalẹ, ni idaniloju gbigbe gbigbe wafer ti o gbẹkẹle lakoko awọn ipele to ṣe pataki ti iṣelọpọ semikondokito. Pẹlu superior darí agbara, yiwafer ọkọdinku eewu ti ibajẹ si awọn wafers, ti o yori si awọn eso ti o ga julọ ati didara iṣelọpọ deede.
Ọkan ninu awọn imotuntun bọtini ni paddle Semicera's SiC wa ni awọn aṣayan apẹrẹ aṣa rẹ. Ti a ṣe lati pade awọn iwulo iṣelọpọ kan pato, paddle naa nfunni ni irọrun ni iṣọpọ pẹlu ọpọlọpọ awọn iṣeto ohun elo, ti o jẹ ki o jẹ ojutu pipe fun awọn ilana iṣelọpọ ode oni. Itumọ iwuwo sibẹsibẹ ti o lagbara n jẹ ki mimu irọrun mu ati dinku akoko iṣẹ ṣiṣe, idasi si imudara ilọsiwaju ni iṣelọpọ semikondokito.
Ni afikun si awọn oniwe-gbona ati darí-ini, awọnSilikoni carbide paddlenfunni ni resistance kemikali ti o dara julọ, gbigba laaye lati ṣe ni igbẹkẹle paapaa ni awọn agbegbe kemikali lile. Eyi jẹ ki o dara ni pataki fun lilo ninu awọn ilana ti o kan etching, ifisilẹ, ati itọju iwọn otutu giga, nibiti mimu iduroṣinṣin ti ọkọ oju omi wafer ṣe pataki fun idaniloju awọn abajade didara ga.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
