Awọn Sobusitireti Silicon Carbide|Awọn Wafers SiC

Apejuwe kukuru:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd jẹ olutaja oludari ti o amọja ni wafer ati awọn ohun elo semikondokito ilọsiwaju.A ṣe iyasọtọ lati pese didara giga, igbẹkẹle, ati awọn ọja tuntun si iṣelọpọ semikondokito, ile-iṣẹ fọtovoltaic ati awọn aaye miiran ti o jọmọ.

Laini ọja wa pẹlu awọn ọja graphite ti SiC/TaC ti a bo ati awọn ọja seramiki, ti o ni ọpọlọpọ awọn ohun elo bii silikoni carbide, silikoni nitride, ati oxide aluminiomu ati be be lo.

Ni bayi, awa nikan ni olupese lati pese mimọ 99.9999% SiC ti a bo ati 99.9% ohun alumọni ohun alumọni recrystallized.Iwọn ipari ti o pọju SiC ti a le ṣe 2640mm.


Alaye ọja

ọja Tags

SiC-Wafer

Silicon carbide (SiC) ohun elo kirisita ẹyọkan ni iwọn aafo ẹgbẹ nla kan (~ Si awọn akoko 3), iba ina gbigbona giga (~ Si awọn akoko 3.3 tabi awọn akoko GaAs awọn akoko 10), oṣuwọn ijira itẹlọrun elekitironi giga (~ Awọn akoko 2.5), ina didenukole giga aaye (~ Si 10 igba tabi GaAs 5 igba) ati awọn miiran dayato si abuda.

Awọn ẹrọ SiC ni awọn anfani ti ko ni iyipada ni aaye ti iwọn otutu giga, titẹ giga, igbohunsafẹfẹ giga, awọn ẹrọ itanna agbara giga ati awọn ohun elo ayika ti o pọju gẹgẹbi afẹfẹ, ologun, agbara iparun, ati bẹbẹ lọ, ṣe fun awọn abawọn ti awọn ohun elo semikondokito ibile ni ilowo. awọn ohun elo, ati pe o di ọna akọkọ ti awọn semikondokito agbara.

4H-SiC Silicon carbide sobusitireti pato

Nkan 项目

Awọn pato

Polytype
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Iwọn opin
晶圆直径

2 inch |3 inch |4 inch |6inch

2 inch |3 inch |4 inch |6inch

Sisanra
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Iwa ihuwasi
导电类型

N – iru / Ologbele-idabobo
N型导电片/ 半绝缘片

N – iru / Ologbele-idabobo
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (Nitrogen) V (Vanadium)

N2 (Nitrogen) V (Vanadium)

Iṣalaye
晶向

Lori ipo <0001>
Pa axis <0001> pa 4°

Lori ipo <0001>
Pa axis <0001> pa 4°

Resistivity
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Ìwọ̀n Múkìkí (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Teriba / Warp
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Dada
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Ipele
产品等级

Gbóògì / Iwadi ite

Gbóògì / Iwadi ite

Crystal Stacking ọkọọkan
堆积方式

ABCB

ABCABC

paramita latissi
晶格参数

a = 3.076A, c = 10.053A

a=3.073A, c=15.117A

Fun apẹẹrẹ/eV(Aafo-ọpa)
禁带宽度

3,27 eV

3.02 eV

ε(Dielectric Constant)
介电常数

9.6

9.66

Refraction Atọka
折射率

n0 = 2,719 ne = 2,777

n0 = 2.707, ko = 2.755

6H-SiC Silicon Carbide sobusitireti pato

Nkan 项目

Awọn pato

Polytype
晶型

6H-SiC

Iwọn opin
晶圆直径

4 inch |6inch

Sisanra
厚度

350μm ~ 450μm

Iwa ihuwasi
导电类型

N – iru / Ologbele-idabobo
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2(Nitrogen)
V (Vanadium)

Iṣalaye
晶向

<0001> pa 4°± 0.5°

Resistivity
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(Irú 6H-N)

Ìwọ̀n Múkìkí (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Teriba / Warp
翘曲度

≤25 μm

Dada
表面处理

Si Oju: CMP, Epi-Ṣetan
C Oju: Opitika Polish

Ipele
产品等级

Iwadi ite

Semicera Work ibi Ibi iṣẹ Semicera 2 Ẹrọ ẹrọ CNN processing, kemikali ninu, CVD bo Iṣẹ wa


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: