Ni aaye oni ti imọ-ẹrọ itanna, awọn ohun elo semikondokito ṣe ipa pataki kan.Lara wọn, ohun alumọni ohun alumọni (SiC) gẹgẹbi ohun elo semikondokito aafo jakejado, pẹlu awọn anfani iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ, gẹgẹbi aaye ina gbigbẹ giga, iyara itẹlọrun giga, adaṣe igbona giga, ati bẹbẹ lọ, di idojukọ di idojukọ ti awọn oniwadi ati awọn onimọ-ẹrọ.Disiki epitaxial silikoni carbide, gẹgẹbi apakan pataki ninu rẹ, ti ṣe afihan agbara ohun elo nla.
一, iṣẹ disiki epitaxial: awọn anfani ni kikun
1. Ultra-high didenukole ina oko: akawe pẹlu awọn ohun elo ohun alumọni ibile, awọn didenukole ina oko ti ohun alumọni carbide jẹ diẹ sii ju 10 igba.Eyi tumọ si pe labẹ awọn ipo foliteji kanna, awọn ẹrọ itanna ti o nlo awọn disiki epitaxial silikoni carbide le ṣe idiwọ awọn ṣiṣan ti o ga julọ, nitorinaa ṣiṣẹda giga-voltage, igbohunsafẹfẹ giga, awọn ẹrọ itanna agbara giga.
2. Iyara ikunra iyara-giga: iyara itẹlọrun ti ohun alumọni carbide jẹ diẹ sii ju awọn akoko 2 ti ohun alumọni.Ṣiṣẹ ni iwọn otutu giga ati iyara giga, silikoni carbide epitaxial disk ṣe dara julọ, eyiti o ṣe ilọsiwaju iduroṣinṣin ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ itanna.
3. Imudara igbona ti o ga julọ: imudara igbona ti ohun alumọni carbide jẹ diẹ sii ju awọn akoko 3 ti ohun alumọni.Ẹya yii ngbanilaaye awọn ẹrọ itanna lati tu ooru silẹ dara julọ lakoko iṣẹ agbara giga ti nlọsiwaju, nitorinaa idilọwọ igbona ati imudarasi aabo ẹrọ.
4. Iduroṣinṣin kemikali ti o dara julọ: ni awọn agbegbe ti o pọju gẹgẹbi iwọn otutu ti o ga, titẹ giga ati itọsi ti o lagbara, iṣẹ-ṣiṣe ti ohun alumọni carbide tun jẹ iduroṣinṣin bi iṣaaju.Ẹya yii jẹ ki disiki epitaxial silicon carbide lati ṣetọju iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ni oju awọn agbegbe eka.
二, ilana iṣelọpọ: farabalẹ gbe
Awọn ilana akọkọ fun iṣelọpọ SIC epitaxial disk pẹlu ifasilẹ eefin ti ara (PVD), ifasilẹ oru kemikali (CVD) ati idagbasoke epitaxial.Ọkọọkan ninu awọn ilana wọnyi ni awọn abuda tirẹ ati nilo iṣakoso kongẹ ti ọpọlọpọ awọn aye lati ṣaṣeyọri awọn abajade to dara julọ.
1. Ilana PVD: Nipa evaporation tabi sputtering ati awọn ọna miiran, ibi-afẹde SiC ti wa ni ipamọ lori sobusitireti lati ṣe fiimu kan.Fiimu ti a pese sile nipasẹ ọna yii ni mimọ giga ati crystallinity ti o dara, ṣugbọn iyara iṣelọpọ jẹ o lọra.
2. Ilana CVD: Nipa fifọ gaasi orisun ohun alumọni carbide ni iwọn otutu ti o ga, o ti wa ni ipamọ lori sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin.Awọn sisanra ati iṣọkan ti fiimu ti a pese sile nipasẹ ọna yii jẹ iṣakoso, ṣugbọn mimọ ati crystallinity ko dara.
3. Idagbasoke Epitaxial: idagba ti SiC epitaxial Layer lori silikoni monocrystalline tabi awọn ohun elo monocrystalline miiran nipasẹ ọna itọsi oru kemikali.Layer epitaxial ti a pese sile nipasẹ ọna yii ni ibaramu ti o dara ati iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ pẹlu ohun elo sobusitireti, ṣugbọn idiyele naa ga julọ.
三, Ifojusọna Ohun elo: Ṣe imọlẹ ọjọ iwaju
Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ itanna agbara ati ibeere ti n pọ si fun iṣẹ ṣiṣe giga ati awọn ẹrọ itanna igbẹkẹle giga, disiki silikoni carbide epitaxial disiki ni ireti ohun elo gbooro ni iṣelọpọ ẹrọ semikondokito.O ti wa ni lilo pupọ ni iṣelọpọ awọn ẹrọ semikondokito giga-igbohunsafẹfẹ giga, gẹgẹbi awọn iyipada itanna, awọn oluyipada, awọn atunṣe, bbl Ni afikun, o tun jẹ lilo pupọ ni awọn sẹẹli oorun, LED ati awọn aaye miiran.
Pẹlu awọn anfani iṣẹ alailẹgbẹ rẹ ati ilọsiwaju ilọsiwaju ti ilana iṣelọpọ, ohun alumọni carbide epitaxial disk n ṣe afihan agbara nla rẹ ni aaye semikondokito.A ni idi lati gbagbọ pe ni ọjọ iwaju ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ, yoo ṣe ipa pataki diẹ sii.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-28-2023