Ilana igbaradi gara irugbin ni SiC nikan idagbasoke gara 3

Ijerisi Idagbasoke
Awọnohun alumọni carbide (SiC)Awọn kirisita irugbin ti pese sile ni atẹle ilana ti a ṣe ilana ati ifọwọsi nipasẹ idagbasoke SiC gara. Syeed idagba ti a lo jẹ ileru idaruda SiC ti ara ẹni pẹlu iwọn otutu idagbasoke ti 2200 ℃, titẹ idagba ti 200 Pa, ati iye akoko idagbasoke ti awọn wakati 100.

Igbaradi lowo kan6-inch SiC waferpẹlu mejeeji erogba ati awọn oju silikoni didan, awaferIsokan sisanra ti ≤10 µm, ati aibikita oju silikoni kan ti ≤0.3 nm. Iwọn 200 mm kan, 500 µm iwe lẹẹdi ti o nipọn, pẹlu lẹ pọ, oti, ati asọ ti ko ni lint ni a tun pese sile.

AwọnSiC waferti a bo pẹlu alemora lori dada imora fun awọn aaya 15 ni 1500 r/min.

Awọn alemora lori dada imora ti awọnSiC waferti gbẹ lori kan gbona awo.

Awọn lẹẹdi iwe atiSiC wafer(Imọra dada ti nkọju si isalẹ) won tolera lati isalẹ si oke ati ki o gbe ni irugbin gara gbona tẹ ileru. Titẹ gbigbona ni a ṣe ni ibamu si ilana tito tẹlẹ gbona titẹ. olusin 6 fihan awọn irugbin gara dada lẹhin ti awọn idagbasoke ilana. O le rii pe dada irugbin kristali jẹ dan laisi awọn ami ti delamination, ti o nfihan pe awọn kirisita irugbin SiC ti a pese sile ninu iwadii yii ni didara ti o dara ati ipele isomọ ipon.

Ipari
Ṣiyesi awọn ọna asopọ ti o wa lọwọlọwọ ati awọn ọna adiye fun imuduro irugbin gara, ọna asopọ pọ ati ọna gbigbe ni a dabaa. Iwadi yi lojutu lori erogba film igbaradi atiwaferilana isọpọ iwe graphite ti o nilo fun ọna yii, ti o yori si awọn ipinnu wọnyi:

Igi ti alemora ti o nilo fun fiimu erogba lori wafer yẹ ki o jẹ 100 mPa·s, pẹlu iwọn otutu carbonization ti ≥600℃. Ayika carbonization ti o dara julọ jẹ oju-aye aabo argon. Ti o ba ṣe labẹ awọn ipo igbale, iwọn igbale yẹ ki o jẹ ≤1 Pa.

Mejeeji carbonization ati awọn ilana isunmọ nilo itọju iwọn otutu kekere ti carbonization ati awọn adhesives imora lori dada wafer lati yọ awọn gaasi jade kuro ninu alemora, idilọwọ peeling ati awọn abawọn ofo ni Layer imora lakoko carbonization.

Awọn alemora imora fun awọn wafer/graphite iwe yẹ ki o ni a iki ti 25 mPa·s, pẹlu kan imora titẹ ti ≥15 kN. Lakoko ilana isomọ, iwọn otutu yẹ ki o dide laiyara ni iwọn otutu kekere (<120℃) ni isunmọ awọn wakati 1.5. Ijẹrisi idagbasoke idagbasoke gara SiC jẹrisi pe awọn kirisita irugbin SiC ti a pese sile pade awọn ibeere fun idagbasoke SiC gara-giga, pẹlu awọn oju ilẹ kirisita irugbin didan ati pe ko si awọn itusilẹ.