Silikoni carbide wafer gbóògì ilana

Silikoni carbide waferjẹ ti lulú ohun alumọni mimọ giga ati lulú erogba mimọ giga bi awọn ohun elo aise, ati ohun alumọni carbide gara ti dagba nipasẹ ọna gbigbe oru ti ara (PVT), ati ni ilọsiwaju sinuohun alumọni carbide wafer.

① Iṣakojọpọ ohun elo aise. Lulú ohun alumọni mimọ giga ati lulú erogba mimọ giga ni a dapọ ni ibamu si ipin kan, ati awọn patikulu carbide ohun alumọni ni a ṣepọ ni iwọn otutu giga ju 2,000 ℃. Lẹhin fifun pa, mimọ ati awọn ilana miiran, ohun elo aise ti ohun alumọni carbide ti o ga julọ eyiti o pade awọn ibeere ti idagbasoke gara ti pese.

② Idagbasoke Crystal. Lilo giga ti nw SIC lulú bi ohun elo aise, gara ti dagba nipasẹ ọna gbigbe oru ti ara (PVT) nipa lilo ileru idagbasoke gara ti ara ẹni.

③ sisẹ ingot. Ingot ohun alumọni carbide ti o gba ni iṣalaye nipasẹ X-ray ẹyọkan gara orientator, lẹhinna ilẹ ati yiyi, ati ni ilọsiwaju sinu iwọn ila opin boṣewa ohun alumọni carbide crystal.

④ Crystal gige. Lilo awọn ohun elo gige laini pupọ, awọn kirisita carbide silikoni ti ge sinu awọn iwe tinrin pẹlu sisanra ti ko ju 1mm lọ.

⑤ Chip lilọ. Wafer ti wa ni ilẹ si fifẹ fẹfẹ ati aibikita nipasẹ awọn fifa diamond lilọ ti awọn titobi patiku oriṣiriṣi.

⑥ Chip didan. Awọn carbide ohun alumọni didan laisi ibajẹ dada ni a gba nipasẹ didan ẹrọ ati didan ẹrọ kemikali.

⑦ Ṣiṣawari Chip. Lo maikirosikopu opiti, X-ray diffractometer, maikirosikopu agbara atomiki, oluyẹwo resistivity ti kii ṣe olubasọrọ, oluyẹwo flatness dada, oluyẹwo okeerẹ abawọn dada ati awọn ohun elo ati ohun elo miiran lati ṣawari iwuwo microtubule, didara gara, roughness, resistivity, warpage, curvature, sisanra ayipada, dada ibere ati awọn miiran sile ti ohun alumọni carbide wafer. Ni ibamu si yi, awọn didara ipele ti awọn ërún pinnu.

⑧ Chip ninu. Iwe didan ohun alumọni carbide ti mọtoto pẹlu oluranlowo mimọ ati omi mimọ lati yọ omi didan ti o ku ati idoti dada miiran lori iwe didan, ati lẹhinna wafer ti fẹ ki o gbọn gbẹ nipasẹ nitrogen ti nw ultra-giga ati ẹrọ gbigbe; Wafer ti wa ni apo sinu apoti mimọ ti o mọ ni iyẹwu mimọ-giga kan lati ṣe agbekalẹ isale ti o ṣetan-lati lo wafer ohun alumọni carbide.

Ti o tobi ni ërún iwọn, awọn isoro siwaju sii awọn ti o baamu gara idagbasoke ati processing ọna ẹrọ, ati awọn ti o ga awọn ẹrọ ṣiṣe ti isalẹ awọn ẹrọ, kekere awọn kuro iye owo.