Ninu pq ile-iṣẹ semikondokito, ni pataki ni semikondokito iran-kẹta (ipin bandgap semikondokito) pq ile-iṣẹ, awọn sobusitireti wa atiepitaxialfẹlẹfẹlẹ. Kini pataki ti awọnepitaxialLayer? Kini iyato laarin sobusitireti ati sobusitireti?
Sobusitireti jẹ awaferṣe ti semikondokito nikan gara ohun elo. Awọn sobusitireti le taara tẹ awọnwaferọna asopọ iṣelọpọ lati gbe awọn ẹrọ semikondokito, tabi o le ṣe ilọsiwaju nipasẹepitaxialilana lati gbe awọn wafers epitaxial. Sobusitireti ni isalẹ tiwafer(ge wafer, o le gba iku kan lẹhin miiran, lẹhinna ṣajọ rẹ lati di chirún arosọ) (ni otitọ, isalẹ ti chirún naa ni gbogbo igba ti palara pẹlu Layer ti goolu ẹhin, ti a lo bi asopọ “ilẹ” kan, sugbon o ti wa ni ṣe ninu awọn pada ilana), ati awọn mimọ ti o gbe gbogbo support iṣẹ (awọn skyscraper ni ërún ti wa ni itumọ ti lori sobusitireti).
Apọju n tọka si ilana ti dida gara titun kan lori sobusitireti gara kan ti a ti ni ilọsiwaju daradara nipasẹ gige, lilọ, didan, bbl (homoepitaxial tabi heteroepitaxial).
Niwon awọn rinle akoso nikan gara Layer gbooro pẹlú awọn sobusitireti gara alakoso, o ti wa ni a npe ni ohun epitaxial Layer (maa orisirisi awọn microns nipọn. Ya silikoni bi apẹẹrẹ: Itumo ti ohun alumọni epitaxial idagbasoke ni lati dagba kan Layer ti gara pẹlu ti o dara latissi be iyege. lori sobusitireti okuta ohun alumọni kan pẹlu iṣalaye gara kan ati iyatọ resistivity ati sisanra bi sobusitireti), ati sobusitireti pẹlu Layer epitaxial ni a npe ni wafer epitaxial (epitaxial wafer = epitaxial Layer + sobusitireti). Ṣiṣe ẹrọ ẹrọ ni a ṣe lori Layer epitaxial.
Epitaxiality ti pin si homoepitaxiality ati heteroepitaxality. Homoepitaxiality ni lati dagba Layer epitaxial ti ohun elo kanna bi sobusitireti lori sobusitireti. Kini pataki ti homoepitaxiality? - Ṣe ilọsiwaju iduroṣinṣin ọja ati igbẹkẹle. Botilẹjẹpe homoepitaxiality ni lati dagba Layer epitaxial ti ohun elo kanna bi sobusitireti, botilẹjẹpe ohun elo naa jẹ kanna, o le mu imudara ohun elo ti nw ati isokan ti dada wafer. Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn wafer didan ti a ṣe nipasẹ didan ẹrọ, sobusitireti ti a ṣe nipasẹ epitaxiality ni fifẹ dada ti o ga, mimọ giga, awọn abawọn micro diẹ, ati awọn idoti oju diẹ. Nitorinaa, resistivity jẹ aṣọ aṣọ diẹ sii, ati pe o rọrun lati ṣakoso awọn abawọn dada bii awọn patikulu dada, awọn abawọn akopọ, ati awọn dislocations. Epitaxy kii ṣe ilọsiwaju iṣẹ ọja nikan, ṣugbọn tun ṣe idaniloju iduroṣinṣin ọja ati igbẹkẹle.
Kini awọn anfani ti ṣiṣe Layer miiran ti awọn ọta silikoni epitaxial lori sobusitireti wafer silikoni? Ninu ilana ohun alumọni CMOS, idagba epitaxial (EPI, epitaxial) lori sobusitireti wafer jẹ igbesẹ ilana to ṣe pataki pupọ.
1. Mu didara gara
Awọn abawọn sobusitireti akọkọ ati awọn aimọ: Sobusitireti wafer le ni awọn abawọn kan ati awọn aimọ lakoko ilana iṣelọpọ. Idagba ti Layer epitaxial le ṣe agbejade didara-giga, aibuku kekere ati aimọ-iṣoro-ipin silikoni ẹyọkan-crystalline lori sobusitireti, eyiti o ṣe pataki pupọ fun iṣelọpọ ẹrọ atẹle. Aṣọ gara be: Idagba Epitaxial le rii daju kan diẹ aṣọ gara be, din ipa ti ọkà aala ati abawọn ninu awọn sobusitireti ohun elo, ati bayi mu awọn gara didara ti gbogbo wafer.
2. Mu itanna išẹ
Mu awọn abuda ẹrọ pọ si: Nipa didasilẹ Layer epitaxial lori sobusitireti, ifọkansi doping ati iru ohun alumọni le jẹ iṣakoso ni deede lati mu iṣẹ ṣiṣe itanna ti ẹrọ naa pọ si. Fun apẹẹrẹ, doping ti epitaxial Layer le ṣatunṣe deede foliteji ala ati awọn aye itanna miiran ti MOSFET. Din lọwọlọwọ jijo: Awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti o ni agbara giga ni iwuwo abawọn kekere, eyiti o ṣe iranlọwọ lati dinku jijo lọwọlọwọ ninu ẹrọ, nitorinaa imudarasi iṣẹ ati igbẹkẹle ẹrọ naa.
3. Ṣe atilẹyin awọn apa ilana ilọsiwaju
Idinku iwọn ẹya: Ni awọn apa ilana ti o kere ju (bii 7nm, 5nm), iwọn ẹya ẹrọ tẹsiwaju lati dinku, nilo awọn ohun elo ti a ti tunṣe ati ti o ga julọ. Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial le pade awọn ibeere wọnyi ati ṣe atilẹyin iṣẹ ṣiṣe giga ati iṣelọpọ iṣọpọ iwuwo giga. Ṣe ilọsiwaju foliteji didenukole: Layer epitaxial le jẹ apẹrẹ lati ni foliteji didenukole giga, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ agbara-giga ati awọn ẹrọ foliteji giga. Fun apẹẹrẹ, ninu awọn ẹrọ agbara, Layer epitaxial le mu foliteji didenukole ti ẹrọ naa pọ si ati mu iwọn iṣẹ ṣiṣe ailewu pọ si.
4. Ibamu ilana ati ilana-ọpọ-Layer
Ẹya Layer-ọpọlọpọ: Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial ngbanilaaye awọn ẹya ọpọ-Layer lati dagba lori sobusitireti kan, ati awọn fẹlẹfẹlẹ oriṣiriṣi le ni awọn ifọkansi doping oriṣiriṣi ati awọn oriṣi. Eyi ṣe iranlọwọ pupọ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ CMOS eka ati iyọrisi isọpọ onisẹpo mẹta. Ibamu: Ilana idagba epitaxial jẹ ibamu pupọ pẹlu awọn ilana iṣelọpọ CMOS ti o wa tẹlẹ ati pe o le ni irọrun sinu awọn ilana iṣelọpọ ti o wa laisi iyipada awọn laini ilana ni pataki.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-16-2024