Layer oxide oxide ti ohun alumọni ohun alumọni jẹ Layer oxide tabi Layer silica ti a ṣẹda lori ilẹ igboro ti wafer ohun alumọni labẹ awọn ipo iwọn otutu giga pẹlu oluranlowo oxidizing.Awọn gbona ohun elo afẹfẹ Layer ti ohun alumọni wafer ti wa ni nigbagbogbo po ni a petele tube ileru, ati awọn idagba otutu ibiti o ni gbogbo 900 ° C ~ 1200 ° C, ati nibẹ ni o wa meji idagbasoke igbe ti "tutu ifoyina" ati "gbẹ ifoyina". Apafẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹfẹ) jẹ"dagba" oxide Layer ti o ni isokan ti o ga julọ ati agbara dielectric ti o ga ju CVD oxide Layer ti a fi silẹ. Layer ohun elo afẹfẹ gbona jẹ Layer dielectric ti o dara julọ bi insulator. Ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ti o da lori ohun alumọni, Layer oxide oxide ṣe ipa pataki bi Layer ìdènà doping ati dielectric dada.
Italolobo: Oxidation iru
1. Ifoyina gbigbẹ
Ohun alumọni ṣe atunṣe pẹlu atẹgun, ati pe Layer oxide n lọ si ipele basali. Ifoyina gbigbẹ nilo lati ṣe ni iwọn otutu ti 850 si 1200 ° C, ati pe oṣuwọn idagba jẹ kekere, eyiti o le ṣee lo fun idagbasoke ẹnu-ọna idabobo MOS. Nigbati didara giga kan, Layer ohun elo afẹfẹ ohun alumọni ultra-tinrin nilo, ifoyina gbigbẹ jẹ ayanfẹ ju ifoyina tutu.
Agbara ifoyina gbigbẹ: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Ifoyina tutu
Ọna yii nlo adalu hydrogen ati atẹgun giga-mimọ lati sun ni ~ 1000 ° C, nitorina o nmu oru omi lati dagba Layer oxide. Botilẹjẹpe ifoyina tutu ko le gbejade bi ipele ifoyina didara giga bi ifoyina gbigbẹ, ṣugbọn to lati ṣee lo bi agbegbe ipinya, ni akawe si ifoyina gbigbẹ ni anfani ti o han gbangba ni pe o ni oṣuwọn idagbasoke ti o ga julọ.
Agbara ifoyina tutu: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Ọna gbigbẹ - ọna tutu - ọna gbigbẹ
Ni ọna yii, atẹgun gbigbẹ mimọ ti wa ni idasilẹ sinu ileru ifoyina ni ipele ibẹrẹ, hydrogen ti wa ni afikun ni aarin oxidation, ati hydrogen ti wa ni ipamọ ni ipari lati tẹsiwaju ifoyina pẹlu atẹgun gbigbẹ mimọ lati ṣe agbekalẹ igbekalẹ oxidation denser ju ilana ifoyina tutu ti o wọpọ ni irisi nya omi.
4. TEOS ifoyina
| Oxidation Technique | Ifoyina tutu tabi Afẹfẹ Gbẹ |
| Iwọn opin | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Oxide Sisanra | 100 Å ~ 15µm |
| Ifarada | +/- 5% |
| Dada | Oxidation Apa Kanṣo (SSO) / Oxidation Apa Meji (DSO) |
| Ileru | Petele tube ileru |
| Gaasi | Hydrogen ati atẹgun gaasi |
| Iwọn otutu | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Atọka itọka | 1.456 |
