Semicera káSiC paddlesti wa ni atunse fun pọọku gbona imugboroosi, pese iduroṣinṣin ati konge ninu awọn ilana ibi ti onisẹpo deede jẹ pataki. Eleyi mu ki wọn apẹrẹ fun awọn ohun elo ibi tiwafersti wa ni tunmọ si tun alapapo ati itutu iyi, bi awọn wafer ọkọ ntẹnumọ awọn oniwe-igbekale iyege, aridaju išẹ dédé.
Iṣakojọpọ Semicera'ssilikoni carbide tan kaakiri paddlessinu laini iṣelọpọ rẹ yoo mu igbẹkẹle ilana rẹ pọ si, o ṣeun si igbona giga wọn ati awọn ohun-ini kemikali. Awọn paddles wọnyi jẹ pipe fun itankale, ifoyina, ati awọn ilana annealing, ni idaniloju pe awọn wafers ti wa ni itọju pẹlu abojuto ati konge jakejado igbesẹ kọọkan.
Innovation wa ni mojuto ti Semicera'sSiC paddleoniru. Awọn paddles wọnyi jẹ ti a ṣe lati baamu lainidi sinu ohun elo semikondokito ti o wa, n pese imudara imudara imudara. Eto iwuwo fẹẹrẹ ati apẹrẹ ergonomic kii ṣe ilọsiwaju gbigbe gbigbe wafer nikan ṣugbọn tun dinku akoko iṣẹ ṣiṣe, ti o yorisi iṣelọpọ ṣiṣanwọle.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
